Substrat de plaquette de saphir de 12 pouces de diamètre, 300 x 1,0 mm, plan C, SSP/DSP

Description courte :

Avec le développement des sciences et des technologies, de nouvelles exigences concernant la taille et la qualité des cristaux de saphir ont émergé. Aujourd'hui, grâce à l'essor rapide de l'éclairage à semi-conducteurs et d'autres applications émergentes, le marché des cristaux de saphir de grande taille, de haute qualité et à bas coût connaît une expansion spectaculaire.

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Caractéristiques

Situation du marché des substrats saphir de 12 pouces

Actuellement, le saphir a deux utilisations principales : l'une est le matériau de substrat, principalement pour les LED, l'autre est le matériau pour les cadrans de montres, l'aviation, l'aérospatiale et les fenêtres de fabrication spéciale.

Bien que le carbure de silicium, le silicium et le nitrure de gallium soient également disponibles comme substrats pour LED, en plus du saphir, leur production de masse reste impossible en raison de leur coût et de certaines difficultés techniques persistantes. Grâce aux progrès techniques réalisés ces dernières années, le saphir présente des propriétés nettement améliorées : adaptation du réseau cristallin, conductivité électrique, propriétés mécaniques, conductivité thermique, etc. Son rapport coût-efficacité est significatif, ce qui en fait le matériau de substrat le plus abouti et le plus stable dans l’industrie des LED. Il est largement utilisé sur le marché, avec une part de marché atteignant 90 %.

Caractéristiques d'un substrat de plaquette de saphir de 12 pouces

1. Les surfaces des substrats en saphir présentent une concentration de particules extrêmement faible, avec moins de 50 particules de 0,3 micron ou plus par 2 pouces dans la gamme de tailles de 2 à 8 pouces, et les principaux métaux (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) en dessous de 2E10/cm2. Le matériau de base de 12 pouces devrait également atteindre ce niveau de qualité.
2. Peut être utilisé comme plaquette porteuse pour le processus de fabrication de semi-conducteurs de 12 pouces (palettes de transport dans le dispositif) et comme substrat pour le collage.
3. Permet de contrôler la forme des surfaces concaves et convexes.
Matériau : Plaquette de saphir monocristalline de haute pureté Al2O3.
Qualité LED, sans bulles, fissures, doubles LED, sans défaut de lignage, sans décoloration... etc.

Plaquettes de saphir de 12 pouces

Orientation	Plan C<0001> +/- 1 degré.
Diamètre	300,0 +/-0,25 mm
Épaisseur	1,0 ±25 µm
Entailler	Encoche ou plat
TTV	<50 µm
ARC	<50 µm
Bords	Chanfrein proactif
Face avant – polie 80/50
Marque au laser	Aucun
Conditionnement	Boîte porte-plaquette unique
Face avant Epi prête polie (Ra < 0,3 nm)
Face arrière Epi prête polie (Ra < 0,3 nm)