Substrat composite LN sur Si de 6 à 8 pouces, épaisseur de 0,3 à 50 μm, matériaux Si/SiC/Saphir

Substrat composite LN sur Si de 6 à 8 pouces, épaisseur de 0,3 à 50 µm, Si/SiC/Saphir (matériaux présentés sur l'image)

Description courte :

Le substrat composite LN-sur-Si de 6 à 8 pouces est un matériau haute performance intégrant des couches minces de niobate de lithium monocristallin (LN) sur des substrats de silicium (Si), avec des épaisseurs allant de 0,3 µm à 50 µm. Il est conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et optoélectroniques de pointe. Grâce à des techniques de collage ou de croissance épitaxiale avancées, ce substrat garantit une haute qualité cristalline de la couche mince de LN tout en tirant parti de la grande taille des plaquettes (6 à 8 pouces) du substrat de silicium pour optimiser l'efficacité et la rentabilité de la production.
Comparé aux matériaux LN massifs conventionnels, le substrat composite LN sur Si de 6 à 8 pouces offre une adaptation thermique et une stabilité mécanique supérieures, le rendant idéal pour la fabrication à grande échelle sur plaquette. De plus, d'autres matériaux de base, tels que le SiC ou le saphir, peuvent être utilisés pour répondre à des exigences d'application spécifiques, notamment pour les dispositifs RF haute fréquence, la photonique intégrée et les capteurs MEMS.

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Caractéristiques

Paramètres techniques

0,3-50 μm LN/LT sur isolateurs
couche supérieure
Diamètre	6-8 pouces
Orientation	X, Z, Y-42 etc.
Matériels	LT, LN
Épaisseur	0,3-50 μm
Substrat (personnalisé)
Matériel	Si, SiC, saphir, spinelle, quartz

Caractéristiques principales

Le substrat composite LN-sur-Si de 6 à 8 pouces se distingue par ses propriétés matérielles uniques et ses paramètres ajustables, permettant une large applicabilité dans les industries des semi-conducteurs et de l'optoélectronique :

1. Compatibilité avec les grandes plaquettes : La taille des plaquettes de 6 à 8 pouces assure une intégration transparente avec les lignes de fabrication de semi-conducteurs existantes (par exemple, les procédés CMOS), réduisant les coûts de production et permettant une production en masse.

2. Haute qualité cristalline : des techniques épitaxiales ou de liaison optimisées garantissent une faible densité de défauts dans le film mince de LN, ce qui le rend idéal pour les modulateurs optiques haute performance, les filtres à ondes acoustiques de surface (SAW) et autres dispositifs de précision.

3. Épaisseur réglable (0,3–50 μm) : Les couches LN ultra-minces (<1 μm) conviennent aux puces photoniques intégrées, tandis que les couches plus épaisses (10–50 μm) supportent les dispositifs RF haute puissance ou les capteurs piézoélectriques.

4. Options de substrat multiples : En plus du Si, le SiC (haute conductivité thermique) ou le saphir (haute isolation) peuvent être sélectionnés comme matériaux de base pour répondre aux exigences des applications à haute fréquence, haute température ou haute puissance.

5. Stabilité thermique et mécanique : Le substrat en silicium offre un support mécanique robuste, minimisant la déformation ou la fissuration pendant le traitement et améliorant le rendement du dispositif.

Ces attributs font du substrat composite LN-sur-Si de 6 à 8 pouces un matériau de choix pour les technologies de pointe telles que les communications 5G, le LiDAR et l'optique quantique.

Principales applications

Le substrat composite LN-sur-Si de 6 à 8 pouces est largement adopté dans les industries de haute technologie en raison de ses propriétés électro-optiques, piézoélectriques et acoustiques exceptionnelles :

1. Communications optiques et photonique intégrée : Permet des modulateurs électro-optiques à haute vitesse, des guides d'ondes et des circuits intégrés photoniques (PIC), répondant aux besoins en bande passante des centres de données et des réseaux de fibres optiques.

Dispositifs RF 2,5G/6G : Le coefficient piézoélectrique élevé du LN le rend idéal pour les filtres à ondes acoustiques de surface (SAW) et à ondes acoustiques de volume (BAW), améliorant le traitement du signal dans les stations de base 5G et les appareils mobiles.

3. MEMS et capteurs : L'effet piézoélectrique du LN sur Si facilite les accéléromètres, les biocapteurs et les transducteurs ultrasoniques à haute sensibilité pour les applications médicales et industrielles.

4. Technologies quantiques : En tant que matériau optique non linéaire, les films minces de LN sont utilisés dans les sources de lumière quantique (par exemple, les paires de photons intriqués) et les puces quantiques intégrées.

5. Lasers et optique non linéaire : Les couches LN ultra-minces permettent des dispositifs efficaces de génération de second harmonique (SHG) et d'oscillation paramétrique optique (OPO) pour le traitement laser et l'analyse spectroscopique.

Le substrat composite LN-sur-Si standardisé de 6 à 8 pouces permet de fabriquer ces dispositifs dans des usines de fabrication de plaquettes à grande échelle, réduisant ainsi considérablement les coûts de production.

Personnalisation et services

Nous fournissons une assistance technique complète et des services de personnalisation pour le substrat composite LN-sur-Si de 6 à 8 pouces afin de répondre à divers besoins en matière de R&D et de production :

1. Fabrication personnalisée : L'épaisseur du film LN (0,3–50 μm), l'orientation cristalline (coupe X/coupe Y) et le matériau du substrat (Si/SiC/saphir) peuvent être adaptés pour optimiser les performances du dispositif.

2. Traitement au niveau de la plaquette : Fourniture en vrac de plaquettes de 6 et 8 pouces, y compris les services de finition tels que le découpage, le polissage et le revêtement, garantissant que les substrats sont prêts pour l'intégration des dispositifs.

3. Consultation technique et essais : caractérisation des matériaux (par exemple, XRD, AFM), essais de performance électro-optique et assistance à la simulation des dispositifs pour accélérer la validation de la conception.

Notre mission est d'établir le substrat composite LN-sur-Si de 6 à 8 pouces comme solution de matériau de base pour les applications optoélectroniques et semi-conductrices, en offrant un soutien de bout en bout de la R&D à la production de masse.

Conclusion

Le substrat composite LN-sur-Si de 6 à 8 pouces, grâce à sa grande taille de plaquette, sa qualité de matériau supérieure et sa polyvalence, est un moteur de progrès dans les communications optiques, la 5G RF et les technologies quantiques. Que ce soit pour la production en grande série ou des solutions sur mesure, nous fournissons des substrats fiables et des services complémentaires pour favoriser l'innovation technologique.