Machine de polissage par faisceau d'ions pour saphir SiC Si

Description courte :

La machine de polissage et de mise en forme par faisceau d'ions repose sur le principe de la pulvérisation ionique. Dans une chambre à vide poussé, une source d'ions génère un plasma qui est accéléré en un faisceau d'ions de haute énergie. Ce faisceau bombarde la surface du composant optique, enlevant de la matière à l'échelle atomique pour obtenir une correction et une finition de surface ultra-précises.

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Caractéristiques

Diagramme détaillé

Machine de polissage par faisceau d'ions1

Présentation du produit : Machine de polissage par faisceau d'ions

Procédé sans contact, le polissage par faisceau d'ions élimine les contraintes mécaniques et évite les dommages sous la surface, ce qui le rend idéal pour la fabrication d'optiques de haute précision utilisées en astronomie, dans l'aérospatiale, les semi-conducteurs et les applications de recherche avancée.

Machine de polissage par faisceau d'ions4

Principe de fonctionnement d'une machine de polissage par faisceau d'ions

Génération d'ions
Un gaz inerte (par exemple, de l'argon) est introduit dans la chambre à vide et ionisé par une décharge électrique pour former un plasma.

Accélération et formation du faisceau
Les ions sont accélérés à plusieurs centaines ou milliers d'électronvolts (eV) et mis en forme en un faisceau stable et focalisé.

Enlèvement de matériaux
Le faisceau d'ions pulvérise physiquement les atomes de la surface sans déclencher de réactions chimiques.

Détection d'erreurs et planification de trajectoire
Les défauts de forme de surface sont mesurés par interférométrie. Des fonctions d'enlèvement de matière sont appliquées pour déterminer les temps de maintien et générer des trajectoires d'outil optimisées.

Correction en boucle fermée
Les cycles itératifs de traitement et de mesure se poursuivent jusqu'à ce que les objectifs de précision RMS/PV soient atteints.

Caractéristiques principales de la machine de polissage par faisceau d'ions

Compatibilité universelle avec les surfaces– Traite les surfaces planes, sphériques, asphériques et de forme libre

Taux d'élimination ultra-stable– Permet une correction de forme inférieure au nanomètre

Traitement sans dommage– Aucun défaut souterrain ni modification structurelle

Performance constante– Fonctionne aussi bien sur des matériaux de dureté variable.

Correction des basses/moyennes fréquences– Élimine les erreurs sans générer d'artefacts de moyenne/haute fréquence

Faibles besoins d'entretien– Fonctionnement continu prolongé avec un temps d'arrêt minimal

Principales caractéristiques techniques de la machine de polissage par faisceau d'ions

Article	Spécification
Méthode de traitement	Pulvérisation ionique dans un environnement à vide poussé
Type de traitement	Mise en forme et polissage de surface sans contact
Dimensions maximales de la pièce	Φ4000 mm
Axes de mouvement	3 axes / 5 axes
Stabilité de retrait	≥95%
Précision de surface	PV < 10 nm ; RMS ≤ 0,5 nm (RMS typique < 1 nm ; PV < 15 nm)
Capacité de correction de fréquence	Élimine les erreurs de basse et moyenne fréquence sans introduire d'erreurs de moyenne/haute fréquence
Fonctionnement continu	3 à 5 semaines sans entretien de l'aspirateur
Coût d'entretien	Faible

Capacités de traitement d'une machine de polissage par faisceau d'ions

Types de surfaces supportées

Simple : Plat, sphérique, prisme

Complexe : asphère symétrique/asymétrique, asphère hors axe, cylindrique

Spécialités : Optiques ultra-minces, optiques à lamelles, optiques hémisphériques, optiques conformes, lames de phase, surfaces de forme libre

Matériaux de support

Verre optique : quartz, microcristallin, K9, etc.

Matériaux infrarouges : silicium, germanium, etc.

Métaux : aluminium, acier inoxydable, alliage de titane, etc.

Cristaux : YAG, carbure de silicium monocristallin, etc.

Matériaux durs/fragiles : carbure de silicium, etc.

Qualité/précision de surface

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Études de cas de traitement de machines de polissage par faisceau d'ions

Cas 1 – Miroir plat standard

Pièce à usiner : quartz plat de 630 mm de diamètre

Résultat : PV 46,4 nm ; RMS 4,63 nm

Cas 2 – Miroir réfléchissant à rayons X

Pièce à usiner : plaque de silicone plate de 150 × 30 mm

Résultat : PV 8,3 nm ; RMS 0,379 nm ; Pente 0,13 µrad

Cas 3 – Miroir hors axe

Pièce à usiner : Miroir rectifié hors axe de 326 mm de diamètre

Résultat : PV 35,9 nm ; RMS 3,9 nm

FAQ sur les verres à quartz

FAQ – Machine de polissage à faisceau d'ions

Q1 : Qu'est-ce que le polissage par faisceau d'ions ?
A1 :Le polissage par faisceau d'ions est un procédé sans contact qui utilise un faisceau d'ions focalisé (comme les ions argon) pour enlever de la matière de la surface d'une pièce. Accélérés et dirigés vers la surface, les ions provoquent un enlèvement de matière à l'échelle atomique, ce qui permet d'obtenir des finitions ultra-lisses. Ce procédé élimine les contraintes mécaniques et les dommages sous-jacents, ce qui le rend idéal pour les composants optiques de précision.

Q2 : Quels types de surfaces la machine de polissage par faisceau d'ions peut-elle traiter ?
A2 :LeMachine de polissage à faisceau d'ionspeut traiter diverses surfaces, y compris des composants optiques simples commesurfaces planes, sphères et prismes, ainsi que des géométries complexes commeasphères, asphères hors axe, etsurfaces de forme libreIl est particulièrement efficace sur des matériaux comme le verre optique, les optiques infrarouges, les métaux et les matériaux durs/fragiles.

Q3 : Avec quels matériaux la machine de polissage par faisceau d'ions peut-elle travailler ?
A3 :LeMachine de polissage à faisceau d'ionspeut polir une large gamme de matériaux, notamment :

Verre optiqueQuartz, microcristallin, K9, etc.
Matériaux infrarougesSilicium, germanium, etc.
MétauxAluminium, acier inoxydable, alliage de titane, etc.
Matériaux cristallins: YAG, carbure de silicium monocristallin, etc.
Autres matériaux durs/cassantsCarbure de silicium, etc.

À propos de nous

XKH est spécialisée dans le développement, la production et la vente de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins de haute technologie. Nos produits sont destinés à l'électronique optique, à l'électronique grand public et au secteur militaire. Nous proposons des composants optiques en saphir, des films de protection pour objectifs de téléphones portables, de la céramique, du LT, du carbure de silicium (SiC), du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Grâce à notre expertise et à nos équipements de pointe, nous excellons dans la transformation de produits non standard, avec pour ambition de devenir une entreprise leader dans le domaine des matériaux optoélectroniques.