Substrat de plaquette de saphir 12 pouces de diamètre 300 x 1,0 mm, plan C SSP/DSP

Brève description :

Avec le développement de la science et de la technologie, de nouvelles exigences en matière de taille et de qualité des cristaux de saphir ont été imposées. Aujourd'hui, avec le développement rapide de l'éclairage à semi-conducteurs et d'autres applications émergentes, le marché des cristaux de saphir de grande taille, économiques et de haute qualité connaît une expansion spectaculaire.

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Situation du marché des substrats en saphir de 12 pouces

À l'heure actuelle, le saphir a deux utilisations principales, l'une est le matériau de substrat, qui est principalement un matériau de substrat LED, l'autre est le cadran de montre, l'aviation, l'aérospatiale, le matériau de fenêtre de fabrication spéciale.

Bien que le carbure de silicium, le silicium et le nitrure de gallium soient également disponibles comme substrats pour les LED, outre le saphir, la production de masse reste impossible en raison de son coût et de certains obstacles techniques non résolus. Grâce aux progrès techniques de ces dernières années, le substrat en saphir a considérablement amélioré et développé sa compatibilité de maille, sa conductivité électrique, ses propriétés mécaniques et thermiques, entre autres. Son rapport coût-efficacité est significatif. Le saphir est ainsi devenu le matériau de substrat le plus mature et le plus stable de l'industrie des LED, largement utilisé sur le marché, avec une part de marché atteignant 90 %.

Caractéristiques du substrat de plaquette de saphir de 12 pouces

1. Les surfaces des substrats en saphir présentent un nombre de particules extrêmement faible, avec moins de 50 particules de 0,3 micron ou plus par 2 pouces (5 à 20 cm) de diamètre, et des métaux majeurs (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) à un taux inférieur à 2E10/cm². Le matériau de base de 12 pouces devrait également atteindre ce niveau.
2. Peut être utilisé comme plaquette de support pour le processus de fabrication de semi-conducteurs de 12 pouces (palettes de transport intégrées à l'appareil) et comme substrat pour le collage.
3. Peut contrôler la forme de la surface concave et convexe.
Matériau : monocristal Al2O3 de haute pureté, plaquette de saphir.
Qualité LED, pas de bulles, de fissures, de jumeaux, de lignée, pas de couleur, etc.

Plaquettes de saphir de 12 pouces

Orientation	Plan C<0001> +/- 1 degré.
Diamètre	300,0 +/-0,25 mm
Épaisseur	1,0 +/-25 um
Entailler	Encoche ou plat
TTV	<50 µm
ARC	<50 µm
Bords	Chanfrein protecteur
Face avant – polie 80/50
Marquage laser	Aucun
Conditionnement	Boîte de transport de plaquettes simples
Face avant Epi prête à polir (Ra <0,3nm)
Face arrière Epi prête à polir (Ra <0,3 nm)