Plaquette saphir 156 mm 159 mm 6 pouces pour transporteur C-Plane DSP TTV
Spécification
Article | Plaquettes de saphir plan C (0001) de 6 pouces | |
Matériaux cristallins | 99,999 %, haute pureté, Al2O3 monocristallin | |
Grade | Prime, prêt pour l'épi | |
Orientation des surfaces | Plan C (0001) | |
Désangle du plan C vers l'axe M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diamètre | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Épaisseur | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientation plate principale | Plan C (00-01) +/- 0,2° | |
Un seul côté poli | Surface avant | Epi-poli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
(SSP) | Surface arrière | Broyage fin, Ra = 0,8 μm à 1,2 μm |
Double face polie | Surface avant | Epi-poli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
(DSP) | Surface arrière | Epi-poli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARC | < 20 μm | |
CHAÎNE | < 20 μm | |
Nettoyage / Emballage | Nettoyage en salle blanche classe 100 et emballage sous vide, | |
25 pièces dans un emballage en cassette ou un emballage monobloc. |
La méthode Kylopoulos (méthode KY) est actuellement utilisée par de nombreuses entreprises en Chine pour produire des glaces saphir destinées aux industries de l'électronique et de l'optique.
Dans ce processus, de l'oxyde d'aluminium de haute pureté est fondu dans un creuset à des températures supérieures à 2 100 degrés Celsius. Habituellement, le creuset est en tungstène ou en molybdène. Un cristal germe orienté avec précision est immergé dans l’alumine fondue. Le cristal germe est lentement tiré vers le haut et peut être tourné simultanément. En contrôlant avec précision le gradient de température, la vitesse de tirage et la vitesse de refroidissement, un gros lingot monocristallin presque cylindrique peut être produit à partir de la masse fondue.
Une fois les lingots de saphir monocristallin cultivés, ils sont percés en tiges cylindriques, qui sont ensuite coupées à l'épaisseur de fenêtre souhaitée et enfin polies pour obtenir la finition de surface souhaitée.