Le substrat en saphir à motifs (PSS) de 2 pouces, 4 pouces et 6 pouces sur lequel le matériau GaN est cultivé peut être utilisé pour l'éclairage LED

Brève description :

Le substrat saphir à motifs (PSS) est un masque destiné à la gravure sèche sur le substrat saphir. Ce masque est gravé d'un motif par lithographie standard, puis le saphir est gravé par gravure ICP. Le masque est ensuite retiré et le matériau GaN est ensuite déposé dessus, transformant ainsi l'épitaxie longitudinale en épitaxie horizontale. Ce procédé comprend plusieurs étapes, telles que le dépôt de résine photosensible, l'exposition par paliers, le développement du motif d'exposition, la gravure sèche ICP et le nettoyage.


Détails du produit

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Caractéristiques principales

1. Caractéristiques structurelles :
La surface du PSS présente un motif conique ordonné ou triangulaire dont la forme, la taille et la distribution peuvent être contrôlées en ajustant les paramètres du processus de gravure.
Ces structures graphiques aident à modifier le chemin de propagation de la lumière et à réduire la réflexion totale de la lumière, améliorant ainsi l'efficacité de l'extraction de la lumière.

2. Caractéristiques du matériau :
PSS utilise du saphir de haute qualité comme matériau de substrat, qui présente les caractéristiques d'une dureté élevée, d'une conductivité thermique élevée, d'une bonne stabilité chimique et d'une transparence optique.
Ces caractéristiques permettent au PSS de résister à des environnements difficiles tels que des températures et des pressions élevées tout en conservant d'excellentes performances optiques.

3. Performances optiques :
En modifiant la diffusion multiple à l'interface entre le GaN et le substrat de saphir, le PSS permet aux photons qui sont complètement réfléchis à l'intérieur de la couche de GaN d'avoir une chance de s'échapper du substrat de saphir.
Cette fonctionnalité améliore considérablement l’efficacité d’extraction de la lumière de la LED et améliore l’intensité lumineuse de la LED.

4. Caractéristiques du processus :
Le processus de fabrication du PSS est relativement complexe, impliquant plusieurs étapes telles que la lithographie et la gravure, et nécessite un équipement de haute précision et un contrôle de processus.
Cependant, avec les progrès continus de la technologie et la réduction des coûts, le processus de fabrication du PSS est progressivement optimisé et amélioré.

Avantage de base

1. Améliorez l'efficacité d'extraction de la lumière : PSS améliore considérablement l'efficacité d'extraction de la lumière des LED en modifiant le chemin de propagation de la lumière et en réduisant la réflexion totale.

2. Prolongez la durée de vie des LED : le PSS peut réduire la densité de dislocation des matériaux épitaxiaux GaN, réduisant ainsi la recombinaison non radiative et le courant de fuite inverse dans la région active, prolongeant ainsi la durée de vie des LED.

3. Améliorez la luminosité des LED : grâce à l'amélioration de l'efficacité d'extraction de la lumière et à l'extension de la durée de vie des LED, l'intensité lumineuse des LED sur le PSS est considérablement améliorée.

4. Réduire les coûts de production : bien que le processus de fabrication du PSS soit relativement complexe, il peut améliorer considérablement l'efficacité lumineuse et la durée de vie des LED, réduisant ainsi les coûts de production dans une certaine mesure et améliorant la compétitivité du produit.

Principaux domaines d'application

1. Éclairage LED : le PSS en tant que matériau de substrat pour les puces LED peut améliorer considérablement l'efficacité lumineuse et la durée de vie des LED.
Dans le domaine de l'éclairage LED, le PSS est largement utilisé dans divers produits d'éclairage, tels que les lampadaires, les lampes de table, les phares de voiture, etc.

2. Dispositifs semi-conducteurs : Outre l'éclairage LED, le PSS peut également être utilisé pour fabriquer d'autres dispositifs semi-conducteurs, tels que des détecteurs de lumière, des lasers, etc. Ces dispositifs ont une large gamme d'applications dans les domaines de la communication, de la médecine, de l'armée et d'autres domaines.

3. Intégration optoélectronique : Les propriétés optiques et la stabilité du PSS en font l'un des matériaux idéaux dans le domaine de l'intégration optoélectronique. Dans l'intégration optoélectronique, le PSS peut être utilisé pour fabriquer des guides d'ondes optiques, des commutateurs optiques et d'autres composants pour réaliser la transmission et le traitement des signaux optiques.

Paramètres techniques

Article Substrat en saphir à motifs (2 à 6 pouces)
Diamètre 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Épaisseur 430 ± 25 μm 650 ± 25 μm 1000 ± 25 μm
Orientation de la surface Plan C (0001) hors angle par rapport à l'axe M (10-10) 0,2 ± 0,1°
Plan C (0001) hors angle par rapport à l'axe A (11-20) 0 ± 0,1°
Orientation principale à plat Plan A (11-20) ± 1,0°
Longueur plate principale 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
Plan R 9 heures
Finition de la surface avant À motifs
Finition de la surface arrière SSP : poli fin, Ra = 0,8-1,2 µm ; DSP : épipoli, Ra < 0,3 nm
Marquage laser Verso
TTV ≤8 μm ≤10 μm ≤ 20 μm
ARC ≤10 μm ≤15 μm ≤ 25 μm
CHAÎNE ≤12 μm ≤ 20 μm ≤ 30 μm
Exclusion des bords ≤ 2 mm
Spécification du modèle Structure de forme Dôme, cône, pyramide
Hauteur du motif 1,6 à 1,8 μm
Diamètre du motif 2,75~2,85 μm
Espace de motif 0,1 à 0,3 μm

XKH se concentre sur le développement, la production et la commercialisation de substrats en saphir à motifs (PSS) et s'engage à fournir des produits PSS de haute qualité et hautes performances à ses clients du monde entier. XKH dispose d'une technologie de fabrication avancée et d'une équipe technique professionnelle, capable de personnaliser ses produits PSS selon différentes spécifications et structures de motifs, en fonction des besoins de ses clients. Parallèlement, XKH accorde une grande importance à la qualité de ses produits et de ses services et s'engage à fournir à ses clients une assistance technique et des solutions complètes. Forte d'une riche expérience et d'atouts dans le domaine des PSS, XKH se réjouit de collaborer avec des partenaires internationaux pour promouvoir conjointement le développement innovant de l'éclairage LED, des semi-conducteurs et d'autres secteurs.

Diagramme détaillé

Substrat en saphir à motifs (PSS) 6
Substrat en saphir à motifs (PSS) 5
Substrat en saphir à motifs (PSS) 4

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