Plaquette de saphir de 2 pouces 50,8 mm Plan C Plan M Plan R Plan A Épaisseur 350 µm 430 µm 500 µm
Spécification des différentes orientations
Orientation | Axe C(0001) | Axe R(1-102) | Axe M(10-10) | Axe A(11-20) | ||
Propriété physique | L'axe C est lumineux, tandis que les autres axes sont lumineux. Le plan C est plat, de préférence coupé. | Plan R un peu plus dur que A. | Le rabot M est dentelé et étagé, pas facile à couper, facile à couper. | La dureté du plan A est nettement supérieure à celle du plan C, ce qui se manifeste par une résistance à l'usure, une résistance aux rayures et une dureté élevée ; Le plan latéral A est un plan en zigzag, facile à couper ; | ||
Applications | Les substrats en saphir orientés C sont utilisés pour faire croître des films déposés III-V et II-VI, tels que le nitrure de gallium, qui peuvent produire des produits LED bleus, des diodes laser et des applications de détecteurs infrarouges. | Croissance de substrat orientée R de différents extrasystèmes de silicium déposés, utilisés dans les circuits intégrés microélectroniques. | Il est principalement utilisé pour développer des films épitaxiaux GaN non polaires/semi-polaires afin d'améliorer l'efficacité lumineuse. | L'orientation A vers le substrat produit une permittivité/un milieu uniforme, et un haut degré d'isolation est utilisé dans la technologie microélectronique hybride. Des supraconducteurs haute température peuvent être produits à partir de cristaux allongés à base A. | ||
Capacité de traitement | Substrat en saphir à motifs (PSS) : sous forme de croissance ou de gravure, des motifs de microstructure réguliers spécifiques à l'échelle nanométrique sont conçus et réalisés sur le substrat en saphir pour contrôler la forme de sortie lumineuse de la LED et réduire les défauts différentiels parmi le GaN en croissance sur le substrat en saphir, améliorer la qualité de l'épitaxie et améliorer l'efficacité quantique interne de la LED et augmenter l'efficacité de l'extraction de la lumière. De plus, le prisme en saphir, le miroir, la lentille, le trou, le cône et d'autres pièces structurelles peuvent être personnalisés selon les exigences du client. | |||||
Déclaration de propriété | Densité | Dureté | point de fusion | Indice de réfraction (visible et infrarouge) | Transmission (DSP) | constante diélectrique |
3,98 g/cm3 | 9 (Mohs) | 2053℃ | 1,762~1,770 | ≥ 85 % | 11,58 à 300 K sur l'axe C (9,4 sur l'axe A) |
Diagramme détaillé


