Plaquette de substrat en saphir Al2O3 99.999% de haute pureté, 4 pouces, Dia101,6 × 0,65 mm avec longueur plate primaire
Description
Les spécifications courantes des plaquettes de saphir de 4 pouces sont présentées comme suit :
Épaisseur : L'épaisseur des plaquettes de saphir courantes est comprise entre 0,2 mm et 2 mm, et l'épaisseur spécifique peut être personnalisée selon les exigences du client.
Bord de placement : il y a généralement une petite section au bord de la tranche appelée « bord de placement » qui protège la surface et le bord de la tranche et est généralement amorphe.
Préparation de la surface : les plaquettes de saphir courantes sont meulées mécaniquement et polies chimiquement et mécaniquement pour lisser la surface.
Propriétés de surface : la surface des plaquettes de saphir possède généralement de bonnes propriétés optiques, telles qu'une faible réflectivité et un faible indice de réfraction, pour améliorer les performances de l'appareil.
Applications
● Substrat de croissance pour les composés III-V et II-VI
● Electronique et optoélectronique
● Applications IR
● Circuit intégré silicium sur saphir (SOS)
● Circuit intégré radiofréquence (RFIC)
Spécification
Article | Plaquettes de saphir plan C de 4 pouces (0001) 650 μm | |
Matériaux cristallins | 99,999 %, haute pureté, Al2O3 monocristallin | |
Grade | Prime, prêt pour l'épi | |
Orientation des surfaces | Plan C (0001) | |
Désangle du plan C vers l'axe M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diamètre | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Épaisseur | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientation plate principale | Plan A (11-20) +/- 0,2° | |
Longueur à plat primaire | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
Un seul côté poli | Surface avant | Epi-poli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
(SSP) | Surface arrière | Broyage fin, Ra = 0,8 μm à 1,2 μm |
Double face polie | Surface avant | Epi-poli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
(DSP) | Surface arrière | Epi-poli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARC | < 20 μm | |
CHAÎNE | < 20 μm | |
Nettoyage / Emballage | Nettoyage en salle blanche classe 100 et emballage sous vide, | |
25 pièces dans un emballage en cassette ou un emballage monobloc. |
Nous avons de nombreuses années d'expérience dans l'industrie de transformation du saphir. Y compris le marché des fournisseurs chinois, ainsi que le marché de la demande internationale. Si vous avez des besoins, n'hésitez pas à nous contacter.