Plaquette de saphir 4 pouces C-Plane SSP/DSP 0,43 mm 0,65 mm
Applications
● Substrat de croissance pour les composés III-V et II-VI.
● Electronique et optoélectronique.
● Applications IR.
● Circuit intégré silicium sur saphir (SOS).
● Circuit intégré radiofréquence (RFIC).
Dans la production de LED, les plaquettes de saphir servent de substrat pour la croissance de cristaux de nitrure de gallium (GaN), qui émettent de la lumière lorsqu'un courant électrique est appliqué. Le saphir est un substrat idéal pour la croissance du GaN, car sa structure cristalline et son coefficient de dilatation thermique sont similaires à ceux du GaN, ce qui minimise les défauts et améliore la qualité du cristal.
En optique, les plaquettes de saphir sont utilisées comme fenêtres et lentilles dans des environnements à haute pression et à haute température, ainsi que dans les systèmes d'imagerie infrarouge, en raison de leur grande transparence et de leur dureté.
Spécification
Article | Plaquettes de saphir 650 μm de 4 pouces C-plane (0001) | |
Matériaux cristallins | Al2O3 monocristallin de haute pureté à 99,999 % | |
Grade | Prime, Epi-Ready | |
Orientation de la surface | Plan C (0001) | |
Angle hors plan C par rapport à l'axe M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diamètre | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Épaisseur | 650 μm +/- 25 μm | |
Orientation principale à plat | Plan A (11-20) +/- 0,2° | |
Longueur plate principale | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
Poli sur une seule face | Surface avant | Épipoli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
(SSP) | Surface arrière | Broyage fin, Ra = 0,8 μm à 1,2 μm |
Double face polie | Surface avant | Épipoli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
(DSP) | Surface arrière | Épipoli, Ra < 0,2 nm (par AFM) |
TTV | < 20 μm | |
ARC | < 20 μm | |
CHAÎNE | < 20 μm | |
Nettoyage / Emballage | Nettoyage en salle blanche classe 100 et conditionnement sous vide, | |
25 pièces dans un emballage de cassette ou un emballage individuel. |
Emballage et expédition
D'une manière générale, nous fournissons le package par boîte de cassette de 25 pièces ; nous pouvons également emballer par conteneur de plaquette unique dans une salle de nettoyage de qualité 100 selon les exigences du client.
Diagramme détaillé

