Plaquette LNOI monocristalline de niobate de lithium de 4 pouces et 6 pouces

Brève description :

Le niobate de lithium présente d'excellentes propriétés électro-optiques, non linéaires et piézoélectriques. Grâce à des technologies de micro et nano-traitement avancées, des dispositifs photoniques intégrés à base de couches minces de niobate de lithium (LNOI) sur isolants ont été largement développés. À l'avenir, les matériaux LNOI hautes performances soutiendront le développement de la micro-nano-optique, de la photonique intégrée et de la photonique micro-ondes à base de LNOI. La production de matériaux LNOI hautes performances constituera une étape importante dans l'application industrielle des dispositifs optoélectroniques à base de niobate de lithium.

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Le processus de préparation des matériaux LNOI est principalement divisé en quatre étapes suivantes

(1) Les ions He ont été injectés dans le matériau niobate de lithium coupé en X à une certaine énergie et introduits dans la couche défectueuse à une certaine profondeur sous la couche superficielle de niobate de lithium ;

(2) Le matériau niobate de lithium implanté ioniquement est lié à un substrat de silicium avec une couche d'oxyde pour former une structure de liaison ;

(3) La structure de liaison a été recuite pour faire évoluer et agglomérer les défauts introduits par l'implantation d'ions He et former des fissures. Enfin, le niobate de lithium a été séparé le long de la couche de défauts pour former les tranches de niobate de lithium résiduel et les plaquettes de LNOI.

Applications et avantages de la plaquette LNOI

1. Les films piézoélectriques en niobate de lithium (LNOI) présentent un coefficient piézoélectrique et une constante diélectrique élevés, permettant de convertir l'énergie mécanique en énergie électrique, et inversement. Ils sont donc largement utilisés dans les capteurs, tels que les capteurs de pression, d'accélération et de température. De plus, ils peuvent être utilisés dans les dispositifs acoustiques et vibratoires, tels que les transducteurs céramiques piézoélectriques et les filtres céramiques piézoélectriques complexes.

2. La stabilité du film piézoélectrique en niobate de lithium est également un de ses avantages. Grâce à sa structure cristalline stable et à son inertie chimique, il est compatible avec les environnements à haute température, à forte humidité, en présence d'acides forts, d'alcalis forts et autres environnements difficiles, offrant une excellente résistance à la corrosion et une grande durabilité.

Le film piézoélectrique en niobate de lithium-3 est un nouveau matériau piézoélectrique offrant d'excellentes performances et une excellente stabilité, et offrant de nombreuses possibilités d'application. Grâce aux progrès scientifiques et technologiques constants, ce film piézoélectrique sera utilisé dans de plus en plus de villes, apportant confort et innovation au quotidien.