Plaquette LNOI de film monocristallin de niobate de Lithium de 4 pouces 6 pouces

Brève description :

Le niobate de lithium possède d'excellentes propriétés électro-optiques, non linéaires et piézoélectriques. Grâce à une technologie avancée de micro et nano traitement, des dispositifs photoniques intégrés basés sur des couches minces de niobate de lithium (LNOI) sur des isolants ont été largement développés. À l’avenir, les matériaux LNOI hautes performances soutiendront le développement ultérieur de la micro-nano-optique, de la photonique intégrée et de la photonique micro-ondes basées sur le LNOI. La production de matériaux LNOI haute performance constituera une étape importante dans l’application industrielle des dispositifs optoélectroniques au niobate de lithium.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Le processus de préparation des matériaux LNOI est principalement divisé en quatre étapes suivantes

(1) Des ions He ont été injectés dans le matériau de niobate de lithium coupé X à une certaine énergie et introduits dans la couche défectueuse à une certaine profondeur sous la couche superficielle de niobate de lithium ;

(2) Le matériau de niobate de lithium à implantation ionique est lié à un substrat de silicium avec une couche d'oxyde pour former une structure de liaison ;

(3) La structure de liaison a été recuite pour faire évoluer et s'agréger les défauts introduits par l'implantation d'ions He pour former des fissures. Enfin, le niobate de lithium a été séparé le long de la couche défectueuse pour former les tranches résiduelles de niobate de lithium et les tranches de LNOI.

Applications et avantages de la plaquette LNOI

1--Les films piézoélectriques de niobate de lithium (LNOI) ont un coefficient piézoélectrique et une constante diélectrique élevés, qui peuvent convertir l'énergie mécanique en énergie électrique ou l'énergie électrique en énergie mécanique. Par conséquent, il est largement utilisé dans le domaine des capteurs, tels que les capteurs de pression, les capteurs d’accélération, les capteurs de température, etc. De plus, le film piézoélectrique de niobate de lithium peut également être utilisé dans des dispositifs acoustiques et des dispositifs de vibration, tels qu'un filtre céramique piézoélectrique complexe à transducteur céramique piézoélectrique.

2-La stabilité du film piézoélectrique de niobate de lithium est également l'un de ses avantages. En raison de la stabilité de sa structure cristalline et de son inertie chimique, le film piézoélectrique de niobate de lithium peut fonctionner à haute température, à haute humidité, dans des acides forts, des alcalis forts et dans d'autres environnements difficiles, avec une bonne résistance à la corrosion et une bonne durabilité.

Le film piézoélectrique de niobate de 3-lithium est un nouveau matériau piézoélectrique offrant d'excellentes performances et stabilité, et a de larges perspectives d'application. Avec le développement continu de la science et de la technologie, le film piézoélectrique au niobate de lithium sera appliqué dans davantage de villes, apportant plus de commodité et d'innovation à la vie des gens.