Plaquette de film monocristallin de niobate de lithium LNOI de 4 pouces ou 6 pouces

Plaquette de niobate de lithium monocristallin (LNOI) de 4 ou 6 pouces (image présentée)

Description courte :

Le niobate de lithium possède d'excellentes propriétés électro-optiques, non linéaires et piézoélectriques. Grâce aux progrès des technologies de micro et nano-usinage, les dispositifs photoniques intégrés à base de couches minces de niobate de lithium (LNOI) déposées sur isolants ont connu un développement important. À l'avenir, les matériaux LNOI haute performance favoriseront le développement de la micro-nano-optique, de la photonique intégrée et de la photonique micro-ondes basées sur le LNOI. La production de ces matériaux constituera une étape cruciale pour l'application industrielle des dispositifs optoélectroniques à base de niobate de lithium.

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Caractéristiques

Le processus de préparation des matériaux LNOI se divise principalement en quatre étapes.

(1) Des ions He ont été injectés dans le matériau de niobate de lithium X-cut à une certaine énergie et introduits dans la couche de défaut à une certaine profondeur sous la couche superficielle du niobate de lithium ;

(2) Le matériau niobate de lithium implanté par ions est lié à un substrat de silicium avec une couche d'oxyde pour former une structure de liaison ;

(3) La structure de liaison a été recuite afin de permettre l'évolution et l'agrégation des défauts introduits par l'implantation d'ions He, conduisant à la formation de fissures. Enfin, le niobate de lithium a été séparé le long de la couche défectueuse pour former les tranches résiduelles de niobate de lithium et les plaquettes de LNOI.

Applications et avantages des plaquettes LNOI

1- Les films piézoélectriques en niobate de lithium (LNOI) présentent un coefficient piézoélectrique et une constante diélectrique élevés, ce qui leur permet de convertir l'énergie mécanique en énergie électrique et inversement. De ce fait, ils sont largement utilisés dans le domaine des capteurs, notamment pour les capteurs de pression, d'accélération et de température. Par ailleurs, ces films peuvent également être employés dans des dispositifs acoustiques et vibratoires, tels que les transducteurs piézoélectriques en céramique et les filtres piézoélectriques en céramique complexe.

2- La stabilité du film piézoélectrique en niobate de lithium constitue également un de ses avantages. Grâce à la stabilité de sa structure cristalline et à son inertie chimique, ce film peut fonctionner dans des environnements difficiles, tels que des températures élevées, une forte humidité et des milieux fortement acides ou alcalins, tout en présentant une excellente résistance à la corrosion et une grande durabilité.

Le film piézoélectrique en niobate de lithium est un nouveau matériau piézoélectrique aux performances et à la stabilité exceptionnelles, offrant de vastes perspectives d'application. Grâce aux progrès constants de la science et de la technologie, ce film sera de plus en plus utilisé dans les villes, améliorant ainsi le quotidien et apportant des innovations à la vie des gens.