Support de substrat de plaquette de saphir 150 mm 6 pouces 0,7 mm 0,5 mm C-Plane SSP/DSP
Applications
Les applications des plaquettes de saphir de 6 pouces comprennent :
1. Fabrication de LED : la plaquette de saphir peut être utilisée comme substrat de puces LED, et sa dureté et sa conductivité thermique peuvent améliorer la stabilité et la durée de vie des puces LED.
2. Fabrication laser : la plaquette de saphir peut également être utilisée comme substrat du laser, pour aider à améliorer les performances du laser et à prolonger sa durée de vie.
3. Fabrication de semi-conducteurs : les plaquettes de saphir sont largement utilisées dans la fabrication de dispositifs électroniques et optoélectroniques, notamment la synthèse optique, les cellules solaires, les dispositifs électroniques haute fréquence, etc.
4. Autres applications : La plaquette de saphir peut également être utilisée pour fabriquer des écrans tactiles, des dispositifs optiques, des cellules solaires à couche mince et d'autres produits de haute technologie.
Spécification
Matériel | Monocristal de haute pureté Al2O3, plaquette de saphir. |
Dimension | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 pouces |
Épaisseur | 1300 +/- 25 um |
Orientation | Plan C (0001) hors plan M (1-100) 0,2 +/- 0,05 degré |
Orientation principale à plat | Un plan +/- 1 degré |
Longueur plate primaire | 47,5 mm +/- 1 mm |
Variation d'épaisseur totale (TTV) | <20 um |
Arc | <25 um |
Chaîne | <25 um |
Coefficient de dilatation thermique | 6,66 x 10-6 / °C parallèlement à l'axe C, 5 x 10-6 /°C perpendiculairement à l'axe C |
Rigidité diélectrique | 4,8 x 105 V/cm |
constante diélectrique | 11,5 (1 MHz) le long de l'axe C, 9,3 (1 MHz) perpendiculairement à l'axe C |
Tangente de perte diélectrique (également appelée facteur de dissipation) | moins de 1 x 10-4 |
Conductivité thermique | 40 W/(mK) à 20℃ |
Polissage | Poli sur une face (SSP) ou poli sur deux faces (DSP), Ra < 0,5 nm (par AFM). Le verso de la plaquette SSP a été finement meulé à Ra = 0,8 - 1,2 µm. |
Transmission | 88% +/-1 % à 460 nm |
Diagramme détaillé

