Support de substrat en saphir de 150 mm (6 pouces) et de 0,7 mm (0,5 mm) d'épaisseur, plan C, SSP/DSP

Description courte :

Tout ce qui précède décrit correctement les cristaux de saphir. Leurs excellentes performances expliquent leur utilisation répandue dans les domaines techniques de pointe. Avec le développement rapide de l'industrie des LED, la demande en cristaux de saphir est également en hausse.


Caractéristiques

Applications

Les applications des plaquettes de saphir de 6 pouces comprennent :

1. Fabrication de LED : la plaquette de saphir peut être utilisée comme substrat des puces LED, et sa dureté et sa conductivité thermique peuvent améliorer la stabilité et la durée de vie des puces LED.

2. Fabrication de lasers : La plaquette de saphir peut également être utilisée comme substrat du laser, afin d’améliorer les performances du laser et de prolonger sa durée de vie.

3. Fabrication de semi-conducteurs : Les plaquettes de saphir sont largement utilisées dans la fabrication de dispositifs électroniques et optoélectroniques, notamment la synthèse optique, les cellules solaires, les dispositifs électroniques à haute fréquence, etc.

4. Autres applications : Les plaquettes de saphir peuvent également être utilisées pour fabriquer des écrans tactiles, des dispositifs optiques, des cellules solaires à couches minces et d'autres produits de haute technologie.

Spécification

Matériel Plaquette de saphir monocristalline de haute pureté Al2O3.
Dimension 150 mm +/- 0,05 mm, 6 pouces
Épaisseur 1300 ± 25 µm
Orientation Plan C (0001) décalé de 0,2 ± 0,05 degré par rapport au plan M (1-100).
Orientation plane principale Un plan +/- 1 degré
longueur à plat primaire 47,5 mm +/- 1 mm
Variation totale d'épaisseur (TTV) <20 µm
Arc <25 µm
Chaîne <25 µm
Coefficient de dilatation thermique 6,66 x 10⁻⁶ / °C parallèle à l'axe C, 5 x 10⁻⁶ / °C perpendiculaire à l'axe C
Force diélectrique 4,8 x 10⁵ V/cm
Constante diélectrique 11,5 (1 MHz) le long de l'axe C, 9,3 (1 MHz) perpendiculairement à l'axe C
Tangente de perte diélectrique (ou facteur de dissipation) moins de 1 x 10⁻⁴
Conductivité thermique 40 W/(mK) à 20 °C
Polissage Les plaquettes polies sur une seule face (SSP) ou sur les deux faces (DSP) présentaient une rugosité Ra < 0,5 nm (mesurée par AFM). La face arrière des plaquettes SSP était finement meulée pour obtenir une rugosité Ra de 0,8 à 1,2 µm.
Transmission 88 % ± 1 % à 460 nm

Diagramme détaillé

Plaquette de saphir de 6 pouces4
Plaquette de saphir de 6 pouces5

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