Support de substrat de plaquette de saphir, 150mm, 6 pouces, 0.7mm, 0.5mm, plan C SSP/DSP
Applications
Les applications pour les plaquettes de saphir de 6 pouces incluent :
1. Fabrication de LED : la plaquette de saphir peut être utilisée comme substrat de puces LED, et sa dureté et sa conductivité thermique peuvent améliorer la stabilité et la durée de vie des puces LED.
2. Fabrication laser : la plaquette de saphir peut également être utilisée comme substrat du laser, pour aider à améliorer les performances du laser et à prolonger la durée de vie.
3. Fabrication de semi-conducteurs : les plaquettes de saphir sont largement utilisées dans la fabrication de dispositifs électroniques et optoélectroniques, notamment la synthèse optique, les cellules solaires, les dispositifs électroniques haute fréquence, etc.
4. Autres applications : la plaquette de saphir peut également être utilisée pour fabriquer des écrans tactiles, des dispositifs optiques, des cellules solaires à couches minces et d'autres produits de haute technologie.
Spécification
Matériel | Monocristal Al2O3 de haute pureté, plaquette de saphir. |
Dimension | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 pouces |
Épaisseur | 1300 +/- 25 um |
Orientation | Plan C (0001) par rapport au plan M (1-100) 0,2 +/- 0,05 degrés |
Orientation principale à plat | Un plan +/- 1 degré |
Longueur à plat primaire | 47,5 mm +/- 1 mm |
Variation d'épaisseur totale (TTV) | <20 um |
Arc | <25 euh |
Chaîne | <25 euh |
Coefficient de dilatation thermique | 6,66 x 10-6 / °C parallèlement à l'axe C, 5 x 10-6 /°C perpendiculairement à l'axe C |
Rigidité diélectrique | 4,8 x 105 V/cm |
Constante diélectrique | 11,5 (1 MHz) le long de l'axe C, 9,3 (1 MHz) perpendiculairement à l'axe C |
Tangente de perte diélectrique (alias facteur de dissipation) | moins de 1 x 10-4 |
Conductivité thermique | 40 W/(mK) à 20 ℃ |
Polissage | poli simple face (SSP) ou poli double face (DSP) Ra < 0,5 nm (par AFM). Le revers de la plaquette SSP a été finement broyé à Ra = 0,8 à 1,2 um. |
Transmission | 88 % +/-1 % à 460 nm |