Support de substrat en saphir de 150 mm (6 pouces) et de 0,7 mm (0,5 mm) d'épaisseur, plan C, SSP/DSP
Applications
Les applications des plaquettes de saphir de 6 pouces comprennent :
1. Fabrication de LED : la plaquette de saphir peut être utilisée comme substrat des puces LED, et sa dureté et sa conductivité thermique peuvent améliorer la stabilité et la durée de vie des puces LED.
2. Fabrication de lasers : La plaquette de saphir peut également être utilisée comme substrat du laser, afin d’améliorer les performances du laser et de prolonger sa durée de vie.
3. Fabrication de semi-conducteurs : Les plaquettes de saphir sont largement utilisées dans la fabrication de dispositifs électroniques et optoélectroniques, notamment la synthèse optique, les cellules solaires, les dispositifs électroniques à haute fréquence, etc.
4. Autres applications : Les plaquettes de saphir peuvent également être utilisées pour fabriquer des écrans tactiles, des dispositifs optiques, des cellules solaires à couches minces et d'autres produits de haute technologie.
Spécification
| Matériel | Plaquette de saphir monocristalline de haute pureté Al2O3. |
| Dimension | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 pouces |
| Épaisseur | 1300 ± 25 µm |
| Orientation | Plan C (0001) décalé de 0,2 ± 0,05 degré par rapport au plan M (1-100). |
| Orientation plane principale | Un plan +/- 1 degré |
| longueur à plat primaire | 47,5 mm +/- 1 mm |
| Variation totale d'épaisseur (TTV) | <20 µm |
| Arc | <25 µm |
| Chaîne | <25 µm |
| Coefficient de dilatation thermique | 6,66 x 10⁻⁶ / °C parallèle à l'axe C, 5 x 10⁻⁶ / °C perpendiculaire à l'axe C |
| Force diélectrique | 4,8 x 10⁵ V/cm |
| Constante diélectrique | 11,5 (1 MHz) le long de l'axe C, 9,3 (1 MHz) perpendiculairement à l'axe C |
| Tangente de perte diélectrique (ou facteur de dissipation) | moins de 1 x 10⁻⁴ |
| Conductivité thermique | 40 W/(mK) à 20 °C |
| Polissage | Les plaquettes polies sur une seule face (SSP) ou sur les deux faces (DSP) présentaient une rugosité Ra < 0,5 nm (mesurée par AFM). La face arrière des plaquettes SSP était finement meulée pour obtenir une rugosité Ra de 0,8 à 1,2 µm. |
| Transmission | 88 % ± 1 % à 460 nm |
Diagramme détaillé



