Plaquette de niobate de lithium de 8 pouces (LiNbO3, LN)

Description courte :

Les plaquettes de niobate de lithium de 8 pouces sont largement utilisées dans les dispositifs optoélectroniques et les circuits intégrés. Comparées aux plaquettes plus petites, elles présentent des avantages indéniables. Premièrement, leur surface plus importante permet d'intégrer davantage de dispositifs et de circuits intégrés, améliorant ainsi l'efficacité et le rendement de la production. Deuxièmement, une densité de dispositifs plus élevée est possible, optimisant l'intégration et les performances des composants. Enfin, les plaquettes de niobate de lithium de 8 pouces offrent une meilleure homogénéité, réduisant la variabilité du processus de fabrication et améliorant la fiabilité et la constance des produits.

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Caractéristiques

Informations détaillées

Diamètre	200 ± 0,2 mm
platitude majeure	57,5 mm, encoche
Orientation	128 coupes en Y, en X et en Z
Épaisseur	0,5 ± 0,025 mm, 1,0 ± 0,025 mm
Surface	DSP et SSP
TTV	< 5 µm
ARC	± (20 µm ~ 40 µm)
Chaîne	<= 20 µm ~ 50 µm
LTV (5 mm x 5 mm)	<1,5 µm
PLTV(<0,5 µm)	≥98 % (5 mm × 5 mm) bord de 2 mm exclu
Ra	Ra<=5A
Gratter et creuser (S/D)	20/10, 40/20, 60/40
Bord	Découvrez SEMI M1.2@avec GC800#. Standard au type C

Spécifications spécifiques

Diamètre : 8 pouces (environ 200 mm)

Épaisseur : Les épaisseurs standard courantes varient de 0,5 mm à 1 mm. D’autres épaisseurs peuvent être réalisées sur mesure selon les besoins spécifiques.

Orientation cristalline : Les orientations cristallines les plus courantes sont les coupes Y, Z et X (128°). D’autres orientations peuvent être proposées en fonction de l’application spécifique.

Avantages liés à la taille : Les pastilles de carpe serrata de 8 pouces présentent plusieurs avantages de taille par rapport aux pastilles plus petites :

Surface plus grande : comparées aux plaquettes de 6 ou 4 pouces, les plaquettes de 8 pouces offrent une surface plus grande et peuvent accueillir davantage de dispositifs et de circuits intégrés, ce qui se traduit par une efficacité et un rendement de production accrus.

Densité plus élevée : L’utilisation de plaquettes de 8 pouces permet de réaliser davantage de dispositifs et de composants sur une même surface, ce qui augmente l’intégration et la densité des dispositifs et, par conséquent, améliore leurs performances.

Meilleure homogénéité : Les plaquettes plus grandes offrent une meilleure homogénéité dans le processus de production, ce qui contribue à réduire la variabilité du processus de fabrication et à améliorer la fiabilité et l’homogénéité du produit.

Les plaquettes L et LN de 8 pouces ont le même diamètre que les plaquettes de silicium classiques et sont faciles à coller. Elles constituent un matériau de haute performance pour les filtres SAW à jonction, capable de gérer les hautes fréquences.