Plaquette de silicium de 8 pouces de type P/N (100) 1-100Ω, substrat de récupération factice
Présentation de la boîte à plaquettes
La plaquette de silicium de 8 pouces est un matériau de substrat en silicium couramment utilisé et largement utilisée dans le processus de fabrication de circuits intégrés. De telles plaquettes de silicium sont couramment utilisées pour fabriquer divers types de circuits intégrés, notamment des microprocesseurs, des puces mémoire, des capteurs et d'autres dispositifs électroniques. Les tranches de silicium de 8 pouces sont couramment utilisées pour fabriquer des puces de tailles relativement grandes, avec des avantages tels qu'une plus grande surface et la possibilité de fabriquer davantage de puces sur une seule tranche de silicium, ce qui conduit à une efficacité de production accrue. La plaquette de silicium de 8 pouces possède également de bonnes propriétés mécaniques et chimiques, ce qui convient à la production de circuits intégrés à grande échelle.
Caractéristiques du produit
Type P/N 8", plaquette de silicium poli (25 pièces)
Orientation : 200
Résistivité : 0,1 - 40 ohm•cm (elle peut varier d'un lot à l'autre)
Épaisseur : 725+/-20um
Qualité Prime/Moniteur/Test
PROPRIÉTÉS MATÉRIELLES
Paramètre | Caractéristiques |
Type/Dopant | P, bore N, phosphore N, antimoine N, arsenic |
Orientations | <100>, <111> découpez les orientations selon les spécifications du client |
Teneur en oxygène | 1019ppmA Tolérances personnalisées selon les spécifications du client |
Teneur en carbone | < 0,6 ppmA |
PROPRIÉTÉS MÉCANIQUES
Paramètre | Prime | Moniteur/Test A | Test |
Diamètre | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Épaisseur | 725 ± 20 µm (standard) | 725 ± 25 µm (standard) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000±25µm 1300±25µm 1500 ± 25 µm | 725 ± 50 µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Arc | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Envelopper | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Arrondi des bords | SEMI-STD | ||
Marquage | Primaire SEMI-Plat uniquement, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Paramètre | Prime | Moniteur/Test A | Test |
Critères du recto | |||
État des surfaces | Chimique Mécanique Poli | Chimique Mécanique Poli | Chimique Mécanique Poli |
Rugosité de la surface | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Contamination Particules@ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Brume, fosses Peau d'orange | Aucun | Aucun | Aucun |
Scie, Marques Stries | Aucun | Aucun | Aucun |
Critères du verso | |||
Fissures, pattes d'oie, marques de scie, taches | Aucun | Aucun | Aucun |
État des surfaces | Gravé caustique |