Effecteur terminal en céramique d'alumine / bras de fourche pour la manipulation de plaquettes et de substrats

Brève description :

L'effecteur terminal en céramique d'alumine, communément appelé bras de fourche en céramique ou pince en céramique, est un outil essentiel utilisé dans les lignes de production automatisées et en salle blanche. Installé sur le bras robotisé, il constitue l'interface finale avec le produit et assure la prise, le maintien, l'alignement et le transfert de pièces hautement sensibles telles que des plaquettes de silicium, des panneaux de verre ou des composants microélectroniques.

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Caractéristiques

Diagramme détaillé

Bras en céramique pour l'entraînement des plaquettes de semi-conducteurs 02 - 副本

Présentation de l'effecteur terminal en céramique d'alumine

L'effecteur en céramique d'alumine, communément appelé bras de fourche en céramique ou pince en céramique, est un outil essentiel utilisé dans les lignes de production automatisées et en salles blanches. Installé sur le bras robotisé, il constitue l'interface finale avec le produit. Il permet de prélever, maintenir, aligner et transférer des pièces très sensibles telles que des plaquettes de silicium, des panneaux de verre ou des composants microélectroniques.

Fabriqué à partir de céramique d'alumine ultra-pure (Al2O3), ce bras de fourche offre une solution exceptionnellement propre et stable pour les environnements où la contamination métallique, la déformation plastique ou la génération de particules ne peuvent être tolérées.

Propriétés des matériaux – Pourquoi l'alumine

À propos de l'effecteur terminal en céramique d'alumine, l'alumine (Al2O3) est l'un des plus établis et des plus fiablescéramiques techniques avancées. La qualité que nous utilisons (pureté ≥ 99,5 %) offre une combinaison unique de qualités physiques et chimiques qui en font le matériau de choix pour les applications de semi-conducteurs et de vide :

Dureté extrême– Avec une dureté Mohs de 9, il offre une durabilité durable et une résistance aux rayures.
Endurance thermique– Maintient l’intégrité structurelle au-delà de 1600 °C, surpassant ses homologues en métal et en polymère.
Isolation électrique– Élimine l’accumulation d’électricité statique et offre une protection diélectrique complète.
Immunité chimique– Insensible aux acides, aux alcalis, aux gaz plasma et aux solutions de nettoyage agressives.
Risque de contamination ultra-faible– Surface sans dégazage et à faible frottement qui minimise la libération de particules dans les salles blanches.

Ces attributs permettent aux effecteurs terminaux en céramique d'alumine de fonctionner parfaitement dans des environnements difficiles et de haute précision.

Principales applications de l'effecteur terminal en céramique d'alumine

La polyvalence des bras de fourche effecteurs terminaux en céramique d'alumine les rend essentiels dans de nombreuses industries de haute technologie :

Systèmes de transport de plaquettes de semi-conducteurs– Déplacement sécurisé des plaquettes de silicium d’un processus à l’autre sans micro-rayures.
Production d'écrans plats– Manipulation de substrats en verre fragiles pour la fabrication d’OLED, LCD ou microLED.
Fabrication de panneaux photovoltaïques (PV)– Prise en charge du chargement et du déchargement des plaquettes solaires dans le cadre de cycles robotiques à grande vitesse.
Assemblage de composants optiques et électroniques– Préhension de pièces délicates telles que des capteurs, des résistances et des puces miniatures.
Automatisation du vide et des salles blanches– Réaliser des tâches de précision dans des conditions ultra-propres et contrôlées par les particules.

Dans chaque scénario, l'effecteur terminal en céramique d'alumine fournit le lien crucial entre l'automatisation robotique et le produit déplacé.

Options de conception et de personnalisation de l'effecteur terminal en céramique d'alumine

Chaque ligne de production a des exigences spécifiques. C'est pourquoi nous proposons des solutions d'effecteurs finaux en céramique d'alumine sur mesure pour différentes tailles de plaquettes, systèmes robotisés et méthodes de manutention :

Compatibilité des plaquettes : gère les plaquettes de 2" à 12" et peut être mis à l'échelle pour les pièces personnalisées.

Options de géométrie : fourche simple, fourche double, multi-fentes ou formes personnalisées avec évidements intégrés.

Manipulation sous vide : Canaux d'aspiration sous vide en option pour un support de plaquettes sans contact.

Interfaces de montage : trous de boulons personnalisés, brides ou conceptions fendues pour s'adapter à n'importe quel bras robotique.

Finitions de surface : Surfaces polies ou superfinies (jusqu'à Ra < 0,15 μm).

Profils de bord : bords chanfreinés ou arrondis pour une protection maximale des plaquettes.

Notre équipe d'ingénierie des effecteurs terminaux en céramique d'alumine peut travailler à partir de dessins CAO ou d'échantillons de pièces des clients, garantissant ainsi une intégration transparente dans les systèmes d'automatisation existants.

Principaux avantages des effecteurs terminaux en céramique d'alumine

Fonctionnalité	Pourquoi c'est important
Précision dimensionnelle	Maintient un alignement parfait même lors de cycles répétitifs à grande vitesse.
Non contaminant	Ne produit pratiquement aucune particule, répondant ainsi aux exigences strictes des salles blanches.
Résistant à la chaleur et à la corrosion	Résiste aux étapes de traitement agressives et aux chocs thermiques.
Aucune charge statique	Protège les plaquettes et composants sensibles du risque électrostatique.
Léger mais rigide	Offre une rigidité élevée sans compromettre la charge du bras robotique.
Durée de vie prolongée	Surpasse les bras en métal et en polymère en termes de durée de vie et de fiabilité.

Comparaison des matériaux de l'effecteur terminal en céramique d'alumine

Attribut	Bras de fourche en plastique	Bras de fourche en aluminium/métal	Bras de fourche en céramique d'alumine
Dureté	Faible	Moyen	Très élevé
Plage thermique	≤ 150°C	≤ 500°C	Jusqu'à 1600°C
Stabilité chimique	Pauvre	Modéré	Excellent
Évaluation des salles blanches	Faible	Moyenne	Idéal pour la classe 100 ou supérieure
Résistance à l'usure	Limité	Bien	Remarquable
Niveau de personnalisation	Modéré	Limité	Extensif

Foire aux questions (FAQ) sur les effecteurs terminaux en céramique d'alumine

Q1 : Qu'est-ce qui différencie un effecteur terminal en céramique d'alumine d'un effecteur terminal en métal ?
A1 :Contrairement aux bras en aluminium ou en acier, la céramique d'alumine ne se corrode pas, ne se déforme pas et n'introduit pas d'ions métalliques dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Elle conserve sa stabilité dimensionnelle dans des conditions extrêmes et ne libère pratiquement aucune particule.

Q2 : Ces effecteurs terminaux en céramique d'alumine peuvent-ils être utilisés dans des chambres à vide poussé et à plasma ?
A2:Oui. La céramique d'alumine estsans dégazageet résistant au plasma, ce qui en fait un matériau privilégié pour les équipements de traitement sous vide et de gravure.

Q3 : Dans quelle mesure ces bras de fourche effecteurs en céramique d'alumine sont-ils personnalisables ?
A3:Chaque unité peut êtreentièrement personnalisé—y compris la forme, les fentes, les trous d'aspiration, le style de montage et la finition des bords—pour répondre aux exigences de votre système robotique.

Q4 : Sont-ils fragiles ?
A4:Bien que la céramique soit naturellement fragile, notre conception répartit uniformément la charge et minimise les points de contrainte. Avec une manipulation appropriée, sa durée de vie est souvent supérieure à celle des alternatives en métal ou en polymère.

À propos de nous

XKH est spécialisé dans le développement, la production et la commercialisation de haute technologie de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins. Nos produits sont destinés aux secteurs de l'optique, de l'électronique grand public et de l'armée. Nous proposons des composants optiques en saphir, des protections d'objectifs pour téléphones portables, de la céramique, des LT, du carbure de silicium SIC, du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Forts d'une expertise pointue et d'équipements de pointe, nous excellons dans le traitement de produits non standard et aspirons à devenir une entreprise de pointe dans le domaine des matériaux optoélectroniques.