Plaquette de saphir Dia 300 x 1,0 mm d'épaisseur, plan C SSP/DSP
Présentation de la boîte à gaufrettes
Matériaux cristallins | 99,999 % d'Al2O3, haute pureté, monocristallin, Al2O3 | |||
Qualité du cristal | Les inclusions, les marques de bloc, les macles, la couleur, les microbulles et les centres de dispersion sont inexistants | |||
Diamètre | 2 pouces | 3 pouces | 4 pouces | 6 pouces ~ 12 pouces |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | Conformément aux dispositions de la production standard | |
Épaisseur | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Peut être personnalisé par le client |
Orientation | Plan C (0001) vers plan M (1-100) ou plan A (1 1-2 0) 0,2 ± 0,1° / 0,3 ± 0,1°, plan R (1-1 0 2), plan A (1 1-2 0 ), plan M (1-1 0 0), toute orientation, tout angle | |||
Longueur plate primaire | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | Conformément aux dispositions de la production standard |
Orientation du logement principal | Plan A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
ARC | ≤10µm | ≤15µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
Chaîne | ≤10µm | ≤15µm | ≤ 20 µm | ≤ 30 µm |
Surface avant | Epi-poli (Ra< 0,2 nm) |
*Arc : L'écart du point central de la surface médiane d'une plaquette libre et non fixée par rapport au plan de référence, où le plan de référence est défini par les trois coins d'un triangle équilatéral.
*Déformation : La différence entre les distances maximale et minimale de la surface médiane d'une plaquette libre et non fixée par rapport au plan de référence défini ci-dessus.
Produits et services de haute qualité pour les dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération et la croissance épitaxiale :
Haut degré de planéité (TTV contrôlé, courbure, déformation, etc.)
Nettoyage de haute qualité (faible contamination par les particules, faible contamination par les métaux)
Perçage, rainurage, découpe et polissage du substrat
Pièce jointe de données telles que la propreté et la forme du substrat (facultatif)
Si vous avez besoin de substrats en saphir, n'hésitez pas à nous contacter :
mail:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
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Diagramme détaillé

