Plaquette de LiTaO3 2 pouces-8 pouces 10 x 10 x 0,5 mm 1sp 2sp pour communications 5G/6G

Plaquette LiTaO3 2 pouces-8 pouces 10 x 10 x 0,5 mm 1sp 2sp pour communications 5G/6G. Image en vedette

Brève description :

La plaquette de tantalate de lithium (LiTaO3), un matériau essentiel des semi-conducteurs et de l'optoélectronique de troisième génération, exploite sa température de Curie élevée (610 °C), sa large plage de transparence (0,4 à 5,0 μm), son coefficient piézoélectrique supérieur (d33 > 1 500 pC/N) et sa faible perte diélectrique (tanδ < 2 %) pour révolutionner les communications 5G, l'intégration photonique et les dispositifs quantiques. Utilisant des technologies de fabrication avancées telles que le transport physique de vapeur (PVT) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), XKH fournit des plaquettes à coupe X/Y/Z, à coupe Y à 42° et à polarisation périodique (PPLT) dans des formats de 2 à 8 pouces, présentant une rugosité de surface (Ra) < 0,5 nm et une densité de microtubes < 0,1 cm⁻². Nos services englobent le dopage au fer, la réduction chimique et l'intégration hétérogène Smart-Cut, pour les filtres optiques haute performance, les détecteurs infrarouges et les sources de lumière quantique. Ce matériau permet des avancées majeures en matière de miniaturisation, de fonctionnement haute fréquence et de stabilité thermique, accélérant ainsi la substitution nationale dans les technologies critiques.

Envoyez-nous un e-mail

Caractéristiques

Paramètres techniques

Nom	LiTaO3 de qualité optique	Niveau de la table sonore LiTaO3
Axial	Coupe Z +/- 0,2°	Coupe Y 36° / Coupe Y 42° / Coupe X (+ / - 0,2 °)
Diamètre	76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100 ± 0,2 mm	76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm ou 150 ± 0,5 mm
Plan de référence	22 mm +/- 2 mm	22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm
Épaisseur	500 µm +/- 5 mm 1000 µm +/- 5 mm	500 µm +/- 20 mm 350 µm +/- 20 mm
TTV	≤ 10 µm	≤ 10 µm
Température de Curie	605 °C + / - 0,7 °C (méthode DTA)	605 °C + / -3 °C (méthode DTA
Qualité de surface	Polissage double face	Polissage double face
bords chanfreinés	arrondi des bords	arrondi des bords

Caractéristiques principales

1. Performances électriques et optiques
· Coefficient électro-optique : le r33 atteint 30 pm/V (coupe X), 1,5 fois plus élevé que le LiNbO3, permettant une modulation électro-optique à bande ultra-large (bande passante > 40 GHz).
· Réponse spectrale large : plage de transmission de 0,4 à 5,0 μm (épaisseur de 8 mm), avec un bord d'absorption ultraviolette aussi bas que 280 nm, idéal pour les lasers UV et les dispositifs à points quantiques.
· Faible coefficient pyroélectrique : dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), assurant la stabilité des capteurs infrarouges à haute température.

2. Propriétés thermiques et mécaniques
· Conductivité thermique élevée : 4,6 W/m·K (coupe X), soit quatre fois celle du quartz, supportant des cycles thermiques de -200 à 500 °C.
· Faible coefficient de dilatation thermique : CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), compatible avec les boîtiers en silicium pour minimiser les contraintes thermiques.
3. Contrôle des défauts et précision du traitement
· Densité des micropipes : < 0,1 cm⁻² (plaquettes de 8 pouces), densité de dislocations < 500 cm⁻² (vérifiée par gravure KOH).
· Qualité de surface : polie CMP à Ra < 0,5 nm, répondant aux exigences de planéité de qualité lithographique EUV.

Applications clés

Domaine	Scénarios d'application	Avantages techniques
Communications optiques	Lasers DWDM 100G/400G, modules hybrides photoniques silicium	La large transmission spectrale et la faible perte de guide d'ondes (α < 0,1 dB/cm) de la plaquette LiTaO3 permettent l'expansion de la bande C.
Communications 5G/6G	Filtres SAW (1,8–3,5 GHz), filtres BAW-SMR	Les plaquettes coupées en Y à 42° atteignent un Kt² > 15 %, offrant une faible perte d'insertion (< 1,5 dB) et une atténuation élevée (> 30 dB).
Technologies quantiques	Détecteurs à photons uniques, sources de conversion descendante paramétrique	Un coefficient non linéaire élevé (χ(2)=40 pm/V) et un faible taux de comptage sombre (<100 comptes/s) améliorent la fidélité quantique.
Détection industrielle	Capteurs de pression haute température, transformateurs de courant	La réponse piézoélectrique de la plaquette LiTaO3 (g33 > 20 mV/m) et sa tolérance aux températures élevées (> 400 °C) conviennent aux environnements extrêmes.

Services XKH

1. Fabrication de plaquettes personnalisées

· Taille et découpe : plaquettes de 2 à 8 pouces avec coupe X/Y/Z, coupe Y à 42° et coupes angulaires personnalisées (tolérance de ± 0,01°).

· Contrôle du dopage : dopage Fe, Mg par la méthode Czochralski (plage de concentration 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) pour optimiser les coefficients électro-optiques et la stabilité thermique.

2. Technologies de processus avancées

· Poling périodique (PPLT) : technologie Smart-Cut pour plaquettes LTOI, permettant d'obtenir une précision de période de domaine de ±10 nm et une conversion de fréquence quasi-adaptée en phase (QPM).

· Intégration hétérogène : plaquettes composites LiTaO3 à base de Si (POI) avec contrôle de l'épaisseur (300–600 nm) et conductivité thermique jusqu'à 8,78 W/m·K pour les filtres SAW haute fréquence.

3. Systèmes de gestion de la qualité

· Tests de bout en bout : spectroscopie Raman (vérification du polytype), XRD (cristallinité), AFM (morphologie de surface) et tests d'uniformité optique (Δn <5×10⁻⁵).

4. Soutien à la chaîne d'approvisionnement mondiale

· Capacité de production : Production mensuelle > 5 000 plaquettes (8 pouces : 70 %), avec livraison d'urgence sous 48 heures.

· Réseau logistique : Couverture en Europe, en Amérique du Nord et en Asie-Pacifique via fret aérien/maritime avec emballage à température contrôlée.