Plaquette de LiTaO3 2 pouces-8 pouces 10x10x0,5 mm 1sp 2sp pour les communications 5G/6G

Plaquette de LiTaO3 2 à 8 pouces 10 x 10 x 0,5 mm 1sp 2sp pour les communications 5G/6G - Image mise en avant

Description courte :

La plaquette de LiTaO3 (tantalate de lithium), matériau clé des semi-conducteurs de troisième génération et de l'optoélectronique, tire parti de sa température de Curie élevée (610 °C), de sa large plage de transparence (0,4–5,0 μm), de son coefficient piézoélectrique supérieur (d33 > 1 500 pC/N) et de ses faibles pertes diélectriques (tanδ < 2 %) pour révolutionner les communications 5G, l'intégration photonique et les dispositifs quantiques. Grâce à des technologies de fabrication avancées telles que le transport physique en phase vapeur (PVT) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), XKH propose des plaquettes de 2 à 8 pouces, taillées selon les axes X/Y/Z et Y à 42°, ainsi que des plaquettes à polarisation périodique (PPLT), caractérisées par une rugosité de surface (Ra) inférieure à 0,5 nm et une densité de microcanaux inférieure à 0,1 cm⁻². Nos services comprennent le dopage au fer, la réduction chimique et l'intégration hétérogène Smart-Cut, destinés aux filtres optiques haute performance, aux détecteurs infrarouges et aux sources de lumière quantique. Ce matériau permet des avancées majeures en matière de miniaturisation, de fonctionnement à haute fréquence et de stabilité thermique, accélérant ainsi le déploiement de technologies de substitution nationales dans des domaines critiques.

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Caractéristiques

Paramètres techniques

Nom	LiTaO3 de qualité optique	Niveau sonore de la table LiTaO3
Axial	Coupe Z +/- 0,2°	Coupe en Y à 36° / Coupe en Y à 42° / Coupe en X (+ / - 0,2 °)
Diamètre	76,2 mm ± 0,3 mm 100 ± 0,2 mm	76,2 mm ± 0,3 mm 100 mm ± 0,3 mm ou 150 mm ± 0,5 mm
Plan de référence	22 mm ± 2 mm	22 mm ± 2 mm 32 mm ± 2 mm
Épaisseur	500 µm ± 5 mm 1000 µm ± 5 mm	500 µm ± 20 mm 350 µm ± 20 mm
TTV	≤ 10 µm	≤ 10 µm
Température de Curie	605 °C ± 0,7 °C (méthode DTA)	605 °C ± 3 °C (méthode DTA)
Qualité de surface	Polissage double face	Polissage double face
Bords chanfreinés	arrondi des bords	arrondi des bords

Caractéristiques clés

1. Performances électriques et optiques
· Coefficient électro-optique : r33 atteint 30 pm/V (coupe X), 1,5 fois plus élevé que LiNbO3, permettant une modulation électro-optique ultra-large bande (bande passante > 40 GHz).
• Réponse spectrale large : plage de transmission de 0,4 à 5,0 μm (épaisseur de 8 mm), avec un seuil d'absorption ultraviolet aussi bas que 280 nm, idéal pour les lasers UV et les dispositifs à points quantiques.
• Faible coefficient pyroélectrique : dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), assurant la stabilité des capteurs infrarouges à haute température.

2. Propriétés thermiques et mécaniques
• Conductivité thermique élevée : 4,6 W/m·K (coupe X), quatre fois supérieure à celle du quartz, supportant un cycle thermique de -200 à 500 °C.
• Faible coefficient de dilatation thermique : CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), compatible avec l'encapsulation en silicium pour minimiser les contraintes thermiques.
3. Contrôle des défauts et précision de traitement
· Densité de micropipes : <0,1 cm⁻² (plaquettes de 8 pouces), densité de dislocations <500 cm⁻² (vérifiée par gravure KOH).
• Qualité de surface : Poli par CMP à Ra < 0,5 nm, répondant aux exigences de planéité de qualité lithographique EUV.

Applications clés

Domaine	Scénarios d'application	Avantages techniques
Communications optiques	Lasers DWDM 100G/400G, modules hybrides de photonique sur silicium	La large transmission spectrale et les faibles pertes du guide d'ondes (α < 0,1 dB/cm) de la plaquette de LiTaO3 permettent l'expansion de la bande C.
Communications 5G/6G	Filtres SAW (1,8–3,5 GHz), filtres BAW-SMR	Les plaquettes à coupe Y à 42° atteignent un Kt² >15%, offrant une faible perte d'insertion (<1,5 dB) et une forte atténuation (>30 dB).
Technologies quantiques	Détecteurs de photons uniques, sources de conversion paramétrique descendante	Un coefficient non linéaire élevé (χ(2)=40 pm/V) et un faible taux de comptage d'obscurité (<100 comptes/s) améliorent la fidélité quantique.
Détection industrielle	Capteurs de pression haute température, transformateurs de courant	La réponse piézoélectrique de la plaquette de LiTaO3 (g33 >20 mV/m) et sa tolérance aux hautes températures (>400°C) conviennent aux environnements extrêmes.

Services XKH

1. Fabrication de plaquettes sur mesure

· Taille et découpe : plaquettes de 2 à 8 pouces avec découpe X/Y/Z, découpe Y à 42° et découpes angulaires personnalisées (tolérance de ±0,01°).

• Contrôle du dopage : Dopage au Fe, Mg via la méthode Czochralski (plage de concentration 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) pour optimiser les coefficients électro-optiques et la stabilité thermique.

2. Technologies de procédés avancées

· Polarisation périodique (PPLT) : Technologie Smart-Cut pour plaquettes LTOI, atteignant une précision de période de domaine de ±10 nm et une conversion de fréquence quasi-accordée en phase (QPM).

· Intégration hétérogène : plaquettes composites LiTaO3 à base de Si (POI) avec contrôle de l'épaisseur (300–600 nm) et conductivité thermique jusqu'à 8,78 W/m·K pour les filtres SAW haute fréquence.

3. Systèmes de gestion de la qualité

· Tests de bout en bout : spectroscopie Raman (vérification du polytype), XRD (cristallinité), AFM (morphologie de surface) et test d'uniformité optique (Δn <5×10⁻⁵).

4. Soutien à la chaîne d'approvisionnement mondiale

· Capacité de production : Production mensuelle > 5 000 plaquettes (8 pouces : 70 %), avec livraison d'urgence en 48 heures.

• Réseau logistique : Couverture en Europe, en Amérique du Nord et en Asie-Pacifique par fret aérien/maritime avec emballage à température contrôlée.