Broches de levage en saphir de qualité supérieure Broche de levage de plaquette en Al₂O₃ monocristallin
Paramètres techniques
| Composition chimique | Al2O3 |
| Dureté | 9Mohs |
| Nature optique | Uniaxial |
| Indice de réfraction | 1.762-1.770 |
| Biréfringence | 0,008-0,010 |
| Dispersion | Faible, 0,018 |
| Lustre | Vitreux |
| Pléochroïsme | Modéré à fort |
| Diamètre | 0,4 mm à 30 mm |
| Tolérance de diamètre | 0,004 mm à 0,05 mm |
| longueur | 2 mm à 150 mm |
| tolérance de longueur | 0,03 mm à 0,25 mm |
| Qualité de surface | 40/20 |
| Rondeur de surface | RZ0,05 |
| Forme personnalisée | les deux extrémités sont plates, une extrémité est redius, les deux extrémités sont redius, axes de selle et formes spéciales |
Caractéristiques principales
1. Dureté et résistance à l'usure exceptionnelles : Avec une dureté Mohs de 9, juste derrière le diamant, les broches de levage en saphir présentent des caractéristiques d'usure nettement supérieures à celles des alternatives traditionnelles en carbure de silicium, en céramique d'alumine ou en alliage métallique. Cette dureté extrême se traduit par une réduction significative de la production de particules et des besoins de maintenance, avec une durée de vie généralement 3 à 5 fois supérieure à celle des matériaux conventionnels dans des applications comparables.
2. Résistance supérieure aux températures élevées : Conçues pour supporter un fonctionnement prolongé à des températures supérieures à 1 000 °C sans dégradation, les broches de levage en saphir préservent leur stabilité dimensionnelle et leur résistance mécanique dans les procédés thermiques les plus exigeants. Elles sont donc particulièrement utiles pour les applications critiques telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) et les systèmes de recuit haute température, où les écarts de dilatation thermique peuvent compromettre les rendements.
3. Inertie chimique : La structure monocristalline du saphir présente une résistance remarquable aux attaques de l'acide HF, des produits chimiques à base de chlore et d'autres gaz agressifs couramment utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs. Cette stabilité chimique garantit des performances constantes dans les environnements plasma et prévient la formation de défauts de surface susceptibles de contaminer les plaquettes.
4. Faible contamination particulaire : Fabriquées à partir de cristaux de saphir de haute pureté (généralement > 99,99 %), sans défaut, ces broches de levage présentent une perte de particules minimale, même après une utilisation prolongée. Leur structure de surface non poreuse et leurs finitions polies répondent aux exigences les plus strictes des salles blanches, contribuant ainsi directement à l'amélioration des rendements des processus de fabrication de semi-conducteurs à nœuds avancés.
Usinage de haute précision : Grâce à des techniques avancées de meulage au diamant et de traitement au laser, les broches de levage en saphir peuvent être produites avec des tolérances submicroniques et des finitions de surface inférieures à 0,05 μm Ra. Des géométries personnalisées, notamment des profils coniques, des configurations de pointes spéciales et des fonctions d'alignement intégrées, peuvent être conçues pour répondre aux défis spécifiques de la manipulation des plaquettes dans les équipements de fabrication de nouvelle génération.
Applications principales
1. Fabrication de semi-conducteurs : Les broches de levage en saphir jouent un rôle essentiel dans les systèmes avancés de traitement des plaquettes, offrant un support fiable et un positionnement précis lors des processus de photolithographie, de gravure, de dépôt et d'inspection. Leur stabilité thermique et chimique les rend particulièrement utiles pour les outils de lithographie EUV et les applications de packaging avancées, où la stabilité dimensionnelle à l'échelle nanométrique est essentielle.
2. Épitaxie LED (MOCVD) : Dans les systèmes de croissance épitaxiale de semi-conducteurs à base de nitrure de gallium (GaN) et de composés apparentés, les broches de levage en saphir assurent un support stable des plaquettes à des températures dépassant souvent 1 000 °C. Leurs caractéristiques de dilatation thermique adaptées aux substrats en saphir minimisent la courbure et le glissement des plaquettes pendant la croissance épitaxiale.
3. Industrie photovoltaïque : La fabrication de cellules solaires à haut rendement bénéficie des propriétés uniques du saphir dans les procédés de diffusion à haute température, de frittage et de dépôt de couches minces. La résistance à l'usure des broches est particulièrement précieuse dans les environnements de production de masse, où la longévité des composants a un impact direct sur les coûts de fabrication.
4. Traitement de précision en optique et électronique : Au-delà des applications de semi-conducteurs, les broches de levage en saphir sont utilisées pour la manipulation de composants optiques délicats, de dispositifs MEMS et de substrats spéciaux, où un traitement sans contamination et la prévention des rayures sont essentiels. Leurs propriétés d'isolation électrique les rendent idéales pour les applications impliquant des dispositifs sensibles à l'électricité statique.
Services de XKH pour les broches de levage en saphir
XKH fournit un support technique complet et des solutions personnalisées pour les broches de levage Sapphire :
1. Services de développement personnalisés
· Prise en charge de la personnalisation dimensionnelle, géométrique et du traitement de surface
· Recommandations en matière de sélection des matériaux et d'optimisation des paramètres techniques
· Conception collaborative de produits et vérification par simulation
2. Capacités de fabrication de précision
· Usinage de haute précision avec des tolérances contrôlées à ±1 μm
· Traitements spéciaux incluant le polissage miroir et le chanfreinage des bords
· Solutions de modification de surface optionnelles telles que les revêtements antiadhésifs
3. Système d'assurance qualité
· Mise en œuvre stricte de l'inspection des matériaux entrants et du contrôle des processus
· Inspection optique en toutes dimensions et analyse de la morphologie de surface
· Fourniture de rapports de tests de performance des produits
4. Services de chaîne d'approvisionnement
· Livraison rapide de produits standards
· Gestion des stocks dédiée aux grands comptes
5. Support technique
· Conseil en solutions applicatives
· Réponse rapide après-vente
Nous nous engageons à fournir des produits de broches de levage en saphir de haute qualité et des services techniques professionnels pour répondre aux exigences strictes des semi-conducteurs, des LED et d'autres industries de pointe.
