Plaquette de verre de quartz JGS1 JGS2 BF33, format 8 pouces ou 12 pouces, 725 ± 25 µm ou sur mesure
Spécification
| Spéc. | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 pouces |
| Diamètre | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
| Épaisseur | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
| Appartement principal | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Encoche | Entailler | Entailler | Entailler |
| LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm |
| TTV | < 2 µm | < 3 µm | <3 µm | <10 µm | <10 µm |
| Arc | ±20 µm | ±30 µm | ±40 µm | ±40 µm | ±40 µm |
| Chaîne | ≤ 30 µm | ≤ 40 µm | ≤ 70 µm | ≤ 80 µm | ≤ 80 µm |
| Arrondi des bords | Conforme à la norme SEMI M1.2 / voir IEC62276 | ||||
| Type de surface | Poli simple face / Poli double face | ||||
| Côté poli Ra | Ra ≤ 1 nm | ||||
| Critères du verso | Ra 0,2-0,7 µm ou sur mesure | ||||
Plaquette de verre de quartz JGS1 JGS2 BF33 Tableau des paramètres de la plaquette
Application
Les plaquettes de verre de quartz JGS1, JGS2 et BF33 sont largement utilisées dans diverses industries de haute précision. Elles sont idéales pour la fabrication de semi-conducteurs, notamment les substrats de photomasques et les composants optiques à l'échelle de la plaquette. Elles conviennent également aux composants optiques, aux lasers et aux capteurs dans des secteurs tels que les télécommunications, l'aérospatiale et les dispositifs médicaux. Leur grande stabilité thermique et leur résistance aux chocs thermiques les rendent parfaitement adaptées aux environnements à températures extrêmes, tandis que leur transmittance exceptionnelle est essentielle pour les applications optiques ultraviolettes (UV) et infrarouges (IR).
Propriétés
Types de matériaux :
JGS1 : Transmittance UV élevée, excellente pour les applications de lumière ultraviolette.
JGS2 : Transmittance équilibrée dans les gammes UV, visible et infrarouge, adaptée aux usages optiques généraux.
BF33 : Verre borosilicaté à haute résistance chimique et à grande durabilité thermique. Options de taille :
Disponible en formats standard de 8 et 12 pouces.
Des dimensions sur mesure peuvent être fabriquées selon des exigences spécifiques. Épaisseur :
L'épaisseur standard est de 725 ± 25 μm.
Épaisseur personnalisable disponible pour répondre aux différents besoins industriels.
Propriétés thermiques :
Excellente stabilité thermique, convient à une utilisation dans des environnements à haute température.
Haute résistance aux chocs thermiques.
Résistance chimique :
Forte résistance à la corrosion par les acides, les alcalis et la plupart des produits chimiques, notamment dans le BF33.
Propriétés optiques :
Les plaquettes JGS1 et JGS2 offrent une transmittance optique élevée dans les gammes ultraviolette (UV), visible et infrarouge (IR).
Idéal pour les composants optiques de précision, la photonique et les applications laser.
Qualité de surface :
Planéité et lissage de surface élevés, garantissant la précision dans la fabrication des semi-conducteurs et des dispositifs optiques.
Ces propriétés rendent les plaquettes JGS1, JGS2 et BF33 polyvalentes et fiables pour des applications hautes performances dans des secteurs tels que l'optique, l'électronique et les semi-conducteurs.
Dans l'ensemble
Les plaquettes de verre de quartz JGS1, JGS2 et BF33 offrent des performances exceptionnelles pour une grande variété d'applications exigeantes. Disponibles aux formats standard de 8 et 12 pouces et d'une épaisseur de 725 ± 25 µm, ces plaquettes sont également personnalisables pour répondre à des besoins spécifiques. Les verres JGS1 et JGS2 présentent une transmittance optique élevée dans les gammes UV, visible et IR, tandis que le verre BF33 offre une excellente résistance chimique et une grande stabilité thermique. Grâce à leur planéité et leur douceur de surface élevées, ces plaquettes sont idéales pour les industries de précision telles que les semi-conducteurs, l'optique et la photonique, garantissant fiabilité et durabilité dans des environnements extrêmes et pour des applications critiques.
Diagramme détaillé
