Plaquette de verre de quartz JGS1 JGS2 BF33 8 pouces 12 pouces 725 ± 25 um ou personnalisée
Spécification
| Spécifications | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
| Diamètre | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
| Épaisseur | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
| Appartement principal | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Encoche | Entailler | Entailler | Entailler |
| LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm |
| TTV | < 2 µm | < 3 um | <3 um | <10 µm | <10 µm |
| Arc | ±20 µm | ±30 µm | ±40 µm | ±40 µm | ±40 µm |
| Chaîne | ≤ 30 µm | ≤ 40 µm | ≤ 70 µm | ≤ 80 µm | ≤ 80 µm |
| Arrondi des bords | Conforme à la norme SEMI M1.2/se référer à la norme IEC62276 | ||||
| Type de surface | Poli sur une seule face / Poli sur deux faces | ||||
| Côté poli Ra | Ra ≤ 1 nm | ||||
| Critères de la face arrière | Ra 0,2-0,7 um ou personnalisé | ||||
Tableau des paramètres des plaquettes de verre de quartz JGS1 JGS2 BF33
Application
Les plaquettes de verre de quartz fabriquées à partir de JGS1, JGS2 et BF33 sont largement utilisées dans diverses industries de haute précision. Ces plaquettes sont idéales pour la fabrication de semi-conducteurs, notamment de substrats pour photomasques et d'optiques. Elles conviennent également aux composants optiques, aux lasers et aux capteurs dans des secteurs tels que les télécommunications, l'aérospatiale et les dispositifs médicaux. Leur grande stabilité thermique et leur résistance aux chocs thermiques les rendent idéales pour les environnements à températures extrêmes, tandis que leur transmittance exceptionnelle est essentielle pour les optiques ultraviolettes (UV) et infrarouges (IR).
Propriétés
Types de matériaux :
JGS1 : Transmission UV élevée, excellente pour les applications de lumière ultraviolette.
JGS2 : Transmission équilibrée sur les plages UV, visible et infrarouge, adaptée aux utilisations optiques générales.
BF33 : Verre borosilicaté à haute résistance chimique et durabilité thermique. Options de taille :
Disponible en tailles standard de gaufrettes de 8 pouces et 12 pouces.
Des tailles personnalisées peuvent être fabriquées en fonction d'exigences spécifiques. Épaisseur :
L'épaisseur standard est de 725 ± 25 μm.
Épaisseur personnalisable disponible pour répondre à différents besoins industriels.
Propriétés thermiques :
Excellente stabilité thermique, adapté à une utilisation dans des environnements à haute température.
Haute résistance aux chocs thermiques.
Résistance chimique :
Forte résistance à la corrosion due aux acides, aux alcalis et à la plupart des produits chimiques, en particulier au BF33.
Propriétés optiques :
Les plaquettes JGS1 et JGS2 offrent une transmittance optique élevée dans les gammes ultraviolette (UV), visible et infrarouge (IR).
Idéal pour les composants optiques de précision, la photonique et les applications laser.
Qualité de surface :
Planéité et douceur de surface élevées, garantissant la précision dans la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs optiques.
Ces propriétés rendent les plaquettes JGS1, JGS2 et BF33 polyvalentes et fiables pour les applications hautes performances dans des secteurs tels que l'optique, l'électronique et les semi-conducteurs.
Dans l'ensemble
Les plaquettes de verre de quartz fabriquées à partir de JGS1, JGS2 et BF33 offrent des performances exceptionnelles pour une variété d'applications exigeantes. Disponibles en formats standard de 8 et 12 pouces avec une épaisseur de 725 ± 25 μm, ces plaquettes sont également personnalisables pour répondre à des exigences spécifiques. Les JGS1 et JGS2 offrent une transmission optique élevée dans les gammes UV, visible et IR, tandis que le BF33 offre une excellente résistance chimique et une stabilité thermique. Grâce à leur planéité et leur douceur de surface élevées, ces plaquettes sont idéales pour les industries de précision telles que les semi-conducteurs, l'optique et la photonique, garantissant fiabilité et durabilité dans les environnements extrêmes et les applications critiques.
Diagramme détaillé
