Plateau en céramique SiC graphite avec revêtement CVD SiC pour équipement

Les céramiques en carbure de silicium ne sont pas seulement utilisées dans l'étape de dépôt de couches minces, comme l'épitaxie ou le MOCVD, ou dans le traitement des plaquettes, au cœur duquel les plateaux de support de plaquettes pour MOCVD sont d'abord soumis à l'environnement de dépôt, et sont donc très résistants à la chaleur et à la corrosion. Les supports revêtus de SiC ont également une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de distribution thermique.

Supports de plaquettes en carbure de silicium à dépôt chimique en phase vapeur pur (CVD SiC) pour le traitement par dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) à haute température.

Les supports de plaquettes en SiC CVD pur sont nettement supérieurs aux supports conventionnels utilisés dans ce procédé, qui sont en graphite et recouverts d'une couche de SiC CVD. Ces supports à base de graphite recouverts ne résistent pas aux températures élevées (1 100 à 1 200 degrés Celsius) requises pour le dépôt de GaN des LED bleues et blanches haute luminosité actuelles. Ces températures élevées provoquent la formation de minuscules trous d'épingle dans le revêtement, à travers lesquels les produits chimiques de traitement érodent le graphite sous-jacent. Les particules de graphite s'écaillent alors et contaminent le GaN, ce qui nécessite le remplacement du support de plaquette recouvert.

Le SiC CVD présente une pureté de 99,999 % ou plus et une conductivité thermique et une résistance aux chocs thermiques élevées. Il peut donc supporter les températures élevées et les environnements difficiles de la fabrication de LED haute luminosité. C'est un matériau monolithique solide qui atteint une densité théorique, produit un minimum de particules et présente une très grande résistance à la corrosion et à l'érosion. Ce matériau peut modifier son opacité et sa conductivité sans introduire d'impuretés métalliques. Les supports de plaquettes mesurent généralement 43 cm de diamètre et peuvent accueillir jusqu'à 40 plaquettes de 5 à 10 cm.