Plateau en céramique SiC graphite avec revêtement SiC CVD pour équipement

Les céramiques en carbure de silicium ne sont pas seulement utilisées lors du dépôt de couches minces, comme l'épitaxie ou le MOCVD, ou dans le traitement des plaquettes, notamment pour les plateaux de support de plaquettes MOCVD qui sont les premiers à être soumis à l'environnement de dépôt. Elles sont donc très résistantes à la chaleur et à la corrosion. Les supports revêtus de SiC présentent également une conductivité thermique élevée et d'excellentes propriétés de distribution thermique.

Supports de plaquettes en carbure de silicium pur déposé par voie chimique en phase vapeur (CVD SiC) pour le traitement par dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD) à haute température.

Les supports de plaquettes en SiC CVD pur sont nettement supérieurs aux supports conventionnels utilisés dans ce procédé, qui sont en graphite recouvert d'une couche de SiC CVD. Ces supports à base de graphite revêtu ne résistent pas aux hautes températures (1100 à 1200 °C) requises pour le dépôt de GaN dans les LED bleues et blanches haute luminosité actuelles. Ces hautes températures provoquent l'apparition de micro-trous dans le revêtement, à travers lesquels les produits chimiques utilisés lors du procédé érodent le graphite sous-jacent. Les particules de graphite se détachent alors et contaminent le GaN, ce qui nécessite le remplacement du support de plaquette revêtu.

Le SiC CVD présente une pureté de 99,999 % ou plus et une conductivité thermique élevée ainsi qu'une excellente résistance aux chocs thermiques. Il supporte ainsi les hautes températures et les environnements difficiles de la fabrication de LED haute luminosité. Ce matériau monolithique solide atteint la densité théorique, génère un minimum de particules et offre une très haute résistance à la corrosion et à l'érosion. Son opacité et sa conductivité peuvent être modulées sans introduction d'impuretés métalliques. Les porte-plaquettes ont généralement un diamètre de 17 pouces et peuvent contenir jusqu'à 40 plaquettes de 2 à 4 pouces.