Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/main

Image présentée du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

Description courte :

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainest un composant de haute précision et de haute résistance conçu pour des applications dans des environnements exigeants tels que la fabrication de semi-conducteurs, les systèmes aérospatiaux et la robotique avancée. Avec son double rôle – en tant questructure de support en forme de fourcheet en tant queeffecteur terminal semblable à une main robotique—Ce composant offre une polyvalence inégalée pour la manipulation, le support ou le transfert de pièces fragiles ou précieuses.

Fabriqué à l'aide de techniques de traitement céramique avancées, le bras/main de fourche en SiC offre une combinaison unique derigidité mécanique, stabilité thermique, etrésistance chimiquece qui en fait un remplacement idéal pour les bras conventionnels en métal ou en polymère dans les systèmes nécessitant des performances à long terme sous contrainte et dans des conditions extrêmes.

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Caractéristiques

Diagramme détaillé

Présentation du bras/main de fourche en céramique de carbure de silicium

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainest un composant de manutention avancé développé pour les systèmes d'automatisation de haute précision, notamment dans les industries des semi-conducteurs et de l'optique. Ce composant présente une conception distinctive en forme de U optimisée pour la manipulation des plaquettes, garantissant à la fois une résistance mécanique et une précision dimensionnelle dans des conditions environnementales extrêmes. Fabriqué en céramique de carbure de silicium de haute pureté,bras/main de fourcheoffre une rigidité, une stabilité thermique et une résistance chimique exceptionnelles.

À mesure que les dispositifs semi-conducteurs évoluent vers des géométries plus fines et des tolérances plus strictes, la demande de composants exempts de contamination et thermiquement stables devient cruciale.Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainCe composant relève ce défi grâce à une faible génération de particules, des surfaces ultra-lisses et une intégrité structurelle à toute épreuve. Qu'il s'agisse du transport de plaquettes, du positionnement de substrats ou des têtes d'outils robotisées, il est conçu pour une fiabilité et une longévité optimales.

Principales raisons de choisir ce produitFourche en céramique de carbure de silicium, bras/maininclure:

Dilatation thermique minimale pour une précision dimensionnelle
Dureté élevée pour une longue durée de vie
Résistance aux acides, aux bases et aux gaz réactifs
Compatibilité avec les environnements de salles blanches de classe ISO 1

Principe de fabrication du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainest produit grâce à un processus de traitement céramique hautement contrôlé, conçu pour garantir des propriétés matérielles supérieures et une constance dimensionnelle.

1. Préparation de poudre

Le processus commence par la sélection de poudres ultrafines de carbure de silicium. Ces poudres sont mélangées à des liants et à des adjuvants de frittage pour faciliter le compactage et la densification.bras/main de fourche, les poudres de β-SiC ou d'α-SiC sont utilisées pour assurer à la fois la dureté et la ténacité.

2. Mise en forme et préformage

Selon la complexité debras/main de fourchePour la conception, la pièce est mise en forme par pressage isostatique, moulage par injection ou coulage en barbotine. Ceci permet des géométries complexes et des structures à parois minces, essentielles à la légèreté de la pièce.Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/main.

3. Frittage à haute température

Le frittage est réalisé à des températures supérieures à 2000 °C sous vide ou sous atmosphère d'argon. Cette étape transforme la pièce crue en un composant céramique entièrement densifié.bras/main de fourcheElle atteint une densité proche de la densité théorique, offrant des propriétés mécaniques et thermiques exceptionnelles.

4. Usinage de précision

Après frittage, leFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainLa pièce est rectifiée au diamant et usinée par commande numérique. Ceci garantit une planéité de ±0,01 mm et permet l'intégration de trous de fixation et de repères de positionnement essentiels à son installation dans les systèmes automatisés.

5. Finition de surface

Le polissage réduit la rugosité de surface (Ra < 0,02 μm), un facteur essentiel pour limiter la formation de particules. Des revêtements CVD optionnels peuvent être appliqués pour améliorer la résistance au plasma ou ajouter des fonctionnalités telles que des propriétés antistatiques.

Tout au long de ce processus, des protocoles de contrôle qualité sont appliqués pour garantirFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainIl fonctionne de manière fiable même dans les applications les plus sensibles.

Paramètres du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés du SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β de la structure cubique à faces centrées (CFC)
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	μm	2~10
Pureté chimique	%	99,99995
Capacité thermique	J·kg⁻¹·K⁻¹	640
Température de sublimation	℃	2700
Force flexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	GPA (pliure à 4 points, 1300℃)	430
Dilatation thermique (CTE)	10-6K-1	4.5
conductivité thermique	(W/mK)	300

Applications des bras/mains de fourche en céramique de carbure de silicium

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainElle est largement utilisée dans les secteurs industriels où une pureté élevée, une grande stabilité et une précision mécanique sont essentielles. Parmi ceux-ci :

1. Fabrication de semi-conducteurs

Dans la fabrication des semi-conducteurs, leFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainCe matériau sert au transport des plaquettes de silicium au sein des équipements de traitement tels que les chambres de gravure, les systèmes de dépôt et les appareils d'inspection. Sa résistance thermique et sa précision dimensionnelle en font un matériau idéal pour minimiser les défauts d'alignement et la contamination des plaquettes.

2. Production de panneaux d'affichage

Dans la fabrication d'écrans OLED et LCD,bras/main de fourcheElle est utilisée dans les systèmes de prélèvement et de placement, où elle manipule des substrats en verre fragiles. Sa faible masse et sa grande rigidité permettent un mouvement rapide et stable, sans vibration ni déformation.

3. Systèmes optiques et photoniques

Pour l'alignement et le positionnement des lentilles, des miroirs ou des puces photoniques,Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainoffre un support sans vibrations, essentiel dans les applications de traitement laser et de métrologie de précision.

4. Systèmes aérospatiaux et de vide

Dans les systèmes optiques aérospatiaux et les instruments sous vide, la structure non magnétique et résistante à la corrosion de ce composant assure une stabilité à long terme.bras/main de fourchepeut également fonctionner sous ultra-vide (UHV) sans dégazage.

Dans tous ces domaines, leFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainsurpasse les alternatives traditionnelles en métal ou en polymère en termes de fiabilité, de propreté et de durée de vie.

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FAQ sur les poignées de fourche en céramique de carbure de silicium

Q1 : Quelles sont les tailles de plaquettes prises en charge par le bras/la main à fourche en céramique de carbure de silicium ?

Lebras/main de fourcheCe système peut être personnalisé pour prendre en charge les plaquettes de 150 mm, 200 mm et 300 mm. L'écartement des fourches, la largeur des bras et la configuration des trous peuvent être adaptés à votre plateforme d'automatisation spécifique.

Q2 : Le bras/la main en céramique de carbure de silicium à fourche est-il compatible avec les systèmes de vide ?

Oui.bras/main de fourcheCe fluide convient aux systèmes à vide partiel et à ultra-vide. Son faible taux de dégazage et l'absence de libération de particules le rendent idéal pour les salles blanches et les environnements sous vide.

Q3 : Puis-je ajouter des revêtements ou des modifications de surface au bras/à la main de la fourche ?

Certainement.Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainpeut être revêtu de couches de CVD-SiC, de carbone ou d'oxyde pour améliorer sa résistance au plasma, ses propriétés antistatiques ou sa dureté de surface.

Q4 : Comment la qualité du bras/de la main de la fourche est-elle vérifiée ?

ChaqueFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainL'appareil est soumis à un contrôle dimensionnel par machine à mesurer tridimensionnelle (MMT) et métrologie laser. La qualité de surface est évaluée par microscopie électronique à balayage (MEB) et profilométrie sans contact afin de répondre aux normes ISO et SEMI.

Q5 : Quel est le délai de livraison pour les commandes personnalisées de bras/mains de fourche ?

Le délai de livraison est généralement de 3 à 5 semaines, selon la complexité et la quantité. Un prototypage rapide est possible pour les demandes urgentes.

Cette FAQ vise à aider les ingénieurs et les équipes d'approvisionnement à comprendre les capacités et les options disponibles lors du choix d'unFourche en céramique de carbure de silicium, bras/main.

À propos de nous

XKH est spécialisée dans le développement, la production et la vente de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins de haute technologie. Nos produits sont destinés à l'électronique optique, à l'électronique grand public et au secteur militaire. Nous proposons des composants optiques en saphir, des films de protection pour objectifs de téléphones portables, de la céramique, du LT, du carbure de silicium (SiC), du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Grâce à notre expertise et à nos équipements de pointe, nous excellons dans la transformation de produits non standard, avec pour ambition de devenir une entreprise leader dans le domaine des matériaux optoélectroniques.