Bras/main de fourche en céramique et carbure de silicium

Bras/main de fourche en céramique de carbure de silicium (image en vedette)

Brève description :

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumest un composant de haute précision et de haute résistance, conçu pour des applications dans des environnements exigeants tels que la fabrication de semi-conducteurs, les systèmes aérospatiaux et la robotique avancée. Grâce à son double rôle :structure de support en forme de fourcheet en tant queeffecteur terminal en forme de main robotique—ce composant offre une polyvalence inégalée dans la manipulation, le support ou le transfert de pièces fragiles ou précieuses.

Fabriqué à l'aide de techniques avancées de traitement de la céramique, le bras/main de fourche SiC offre une combinaison unique derigidité mécanique, stabilité thermique, etrésistance chimique, ce qui en fait un remplacement idéal pour les bras conventionnels en métal ou en polymère dans les systèmes qui nécessitent des performances à long terme sous contrainte et dans des conditions extrêmes.

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Caractéristiques

Diagramme détaillé

Présentation du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumest un composant de manipulation avancé, développé pour les systèmes d'automatisation de haute précision, notamment dans les industries des semi-conducteurs et de l'optique. Ce composant présente une conception en U distinctive, optimisée pour la manipulation des plaquettes, garantissant résistance mécanique et précision dimensionnelle dans des conditions environnementales extrêmes. Fabriqué en céramique de carbure de silicium haute pureté, ilbras/main de fourcheoffre une rigidité, une stabilité thermique et une résistance chimique exceptionnelles.

À mesure que les dispositifs semi-conducteurs évoluent vers des géométries plus fines et des tolérances plus strictes, la demande de composants sans contamination et thermiquement stables devient critique.Bras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumCe composant répond à ce défi en offrant une faible génération de particules, des surfaces ultra-lisses et une intégrité structurelle robuste. Qu'il soit utilisé pour le transport de plaquettes, le positionnement de substrats ou les têtes d'outils robotisées, il est conçu pour offrir fiabilité et longévité.

Principales raisons de choisir ceciBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciuminclure:

Dilatation thermique minimale pour une précision dimensionnelle
Dureté élevée pour une longue durée de vie
Résistance aux acides, aux alcalis et aux gaz réactifs
Compatibilité avec les environnements de salle blanche ISO Classe 1

Principe de fabrication du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumest produit grâce à un flux de travail de traitement de la céramique hautement contrôlé conçu pour garantir des propriétés matérielles supérieures et une cohérence dimensionnelle.

1. Préparation de la poudre

Le processus commence par la sélection de poudres ultrafines de carbure de silicium. Ces poudres sont mélangées à des liants et des agents de frittage pour faciliter le compactage et la densification. Pour cela,bras/main de fourcheDes poudres β-SiC ou α-SiC sont utilisées pour garantir à la fois la dureté et la ténacité.

2. Façonnage et préformage

En fonction de la complexité dubras/main de fourcheLors de la conception, la pièce est façonnée par pressage isostatique, moulage par injection ou coulée en barbotine. Cela permet de réaliser des géométries complexes et des structures à parois minces, essentielles à la légèreté de la pièce.Bras/main de fourche en céramique et carbure de silicium.

3. Frittage à haute température

Le frittage est réalisé à des températures supérieures à 2 000 °C, sous vide ou sous atmosphère d'argon. Cette étape transforme le corps cru en un composant céramique entièrement densifié.bras/main de fourcheatteint une densité proche de la théorie, offrant des propriétés mécaniques et thermiques exceptionnelles.

4. Usinage de précision

Après frittage, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumIl est soumis à une rectification au diamant et à un usinage CNC. Cela garantit une planéité de ± 0,01 mm et permet l'intégration de trous de fixation et de dispositifs de positionnement essentiels à son installation dans des systèmes automatisés.

5. Finition de surface

Le polissage réduit la rugosité de surface (Ra < 0,02 μm), essentielle pour limiter la production de particules. Des revêtements CVD optionnels peuvent être appliqués pour améliorer la résistance au plasma ou ajouter des fonctionnalités telles qu'un comportement antistatique.

Tout au long de ce processus, des protocoles de contrôle qualité sont appliqués pour garantir laBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumfonctionne de manière fiable dans les applications les plus sensibles.

Paramètres du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC
Propriétés du SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	μm	2 à 10
Pureté chimique	%	99,99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	°C	2700
Force félexurale	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (pliage 4 points, 1300℃)	430
Dilatation thermique (CTE)	10-6K-1	4,5
Conductivité thermique	(W/mK)	300

Applications du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumIl est largement utilisé dans les industries où pureté, stabilité et précision mécanique sont essentielles. Parmi ces industries, on trouve :

1. Fabrication de semi-conducteurs

Dans la fabrication de semi-conducteurs, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumUtilisé pour le transport des plaquettes de silicium dans les outils de traitement tels que les chambres de gravure, les systèmes de dépôt et les équipements d'inspection. Sa résistance thermique et sa précision dimensionnelle en font un outil idéal pour minimiser le désalignement et la contamination des plaquettes.

2. Production de panneaux d'affichage

Dans la fabrication d'écrans OLED et LCD, lebras/main de fourcheIl est utilisé dans les systèmes de transfert, où il manipule des substrats en verre fragiles. Sa faible masse et sa grande rigidité permettent un mouvement rapide et stable, sans vibration ni déformation.

3. Systèmes optiques et photoniques

Pour l'alignement et le positionnement des lentilles, des miroirs ou des puces photoniques, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumoffre un support sans vibrations, essentiel dans les applications de traitement laser et de métrologie de précision.

4. Systèmes aérospatiaux et de vide

Dans les systèmes optiques aérospatiaux et les instruments à vide, la structure non magnétique et résistante à la corrosion de ce composant assure une stabilité à long terme.bras/main de fourchepeut également fonctionner sous ultra-vide (UHV) sans dégazage.

Dans tous ces domaines, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumsurpasse les alternatives traditionnelles en métal ou en polymère en termes de fiabilité, de propreté et de durée de vie.

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FAQ sur les bras/mains de fourche en céramique et carbure de silicium

Q1 : Quelles tailles de plaquettes sont prises en charge par le bras/la main de fourche en céramique en carbure de silicium ?

Lebras/main de fourchePersonnalisable pour prendre en charge des plaquettes de 150 mm, 200 mm et 300 mm. L'envergure des fourches, la largeur des bras et la disposition des trous peuvent être adaptées à votre plateforme d'automatisation.

Q2 : Le bras/la main de fourche en céramique en carbure de silicium est-il compatible avec les systèmes à vide ?

Oui. Lebras/main de fourcheConvient aux systèmes à vide faible et ultra-vide. Son faible taux de dégazage et son absence de particules en font un produit idéal pour les salles blanches et les environnements sous vide.

Q3 : Puis-je ajouter des revêtements ou des modifications de surface au bras/à la main de la fourche ?

Certainement. LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumpeut être recouvert de couches CVD-SiC, de carbone ou d'oxyde pour améliorer sa résistance au plasma, ses propriétés antistatiques ou sa dureté de surface.

Q4 : Comment la qualité du bras/de la main de fourche est-elle vérifiée ?

ChaqueBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumLes pièces sont soumises à un contrôle dimensionnel à l'aide de MMT et d'outils de métrologie laser. La qualité de surface est évaluée par MEB et profilométrie sans contact afin de répondre aux normes ISO et SEMI.

Q5 : Quel est le délai de livraison pour les commandes de bras/mains de fourche personnalisés ?

Le délai de livraison varie généralement de 3 à 5 semaines selon la complexité et la quantité. Un prototypage rapide est disponible pour les demandes urgentes.

Ces FAQ visent à aider les ingénieurs et les équipes d'approvisionnement à comprendre les capacités et les options disponibles lors de la sélection d'unBras/main de fourche en céramique et carbure de silicium.

À propos de nous

XKH est spécialisé dans le développement, la production et la commercialisation de haute technologie de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins. Nos produits sont destinés aux secteurs de l'optique, de l'électronique grand public et de l'armée. Nous proposons des composants optiques en saphir, des protections d'objectifs pour téléphones portables, de la céramique, des LT, du carbure de silicium SIC, du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Forts d'une expertise pointue et d'équipements de pointe, nous excellons dans le traitement de produits non standard et aspirons à devenir une entreprise de pointe dans le domaine des matériaux optoélectroniques.