Fourche en céramique de carbure de silicium (SiC) avec bras/main pour systèmes de manutention critiques

Bras/main de fourche en céramique de carbure de silicium (SiC) pour systèmes de manutention critiques - Image mise en avant

Description courte :

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainest un composant de pointe développé pour l'automatisation industrielle avancée, le traitement des semi-conducteurs et les environnements ultra-propres. Son architecture unique en forme de fourche et sa surface en céramique ultra-plane le rendent idéal pour la manipulation de substrats délicats, tels que les plaquettes de silicium, les panneaux de verre et les dispositifs optiques. Conçu avec précision et fabriqué à partir de carbure de silicium ultra-pur,Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainoffre une résistance mécanique, une fiabilité thermique et un contrôle de la contamination inégalés.

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Caractéristiques

Diagramme détaillé

Présentation du bras/main de fourche en céramique de carbure de silicium

Contrairement aux bras conventionnels en métal ou en plastique, lesFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainCe composant offre des performances stables dans des conditions thermiques, chimiques et de vide extrêmes. Qu'il soit utilisé en salle blanche de classe 1 ou dans une chambre à plasma à vide poussé, il garantit un transport sûr, efficace et sans résidus de pièces précieuses.

Doté d'une structure adaptée aux bras robotisés, aux manipulateurs de plaquettes et aux outils de transfert automatisés,Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainconstitue une mise à niveau intelligente pour tout système de haute précision.

Procédé de fabrication du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

Concevoir une machine haute performanceFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainCela implique un processus d'ingénierie céramique rigoureusement contrôlé qui garantit la répétabilité, la fiabilité et des taux de défauts extrêmement faibles.

1. Ingénierie des matériaux

Seule de la poudre de carbure de silicium ultra-pure est utilisée dans la fabrication duFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainCes poudres, qui garantissent une faible contamination ionique et une résistance mécanique élevée, sont mélangées avec précision à des additifs de frittage et des liants pour une densification optimale.

2. Formation de la structure de base

La géométrie de base de labras/main de fourcheElle est formée par pressage isostatique à froid ou par moulage par injection, ce qui garantit une densité à cru élevée et une répartition uniforme des contraintes. Sa configuration en U optimise le rapport rigidité/poids et la réponse dynamique.

3. Procédé de frittage

Le corps vert duFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainLe frittage s'effectue dans un four à gaz inerte à haute température, à plus de 2000 °C. Cette étape garantit une densité proche de la valeur théorique, produisant un composant qui résiste à la fissuration, au gauchissement et aux écarts dimensionnels sous des charges thermiques réelles.

4. Rectification et usinage de précision

Des outils diamantés CNC de pointe sont utilisés pour façonner les dimensions finales de la pièce.Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainDes tolérances serrées (±0,01 mm) et une finition de surface de niveau miroir réduisent le dégagement de particules et les contraintes mécaniques.

5. Conditionnement et nettoyage des surfaces

La finition de surface finale comprend le polissage chimique et le nettoyage par ultrasons pour préparer la surface.bras/main de fourchePour une intégration directe dans les systèmes ultra-propres. Des revêtements optionnels (CVD-SiC, couches antireflets) sont également disponibles.

Ce processus méticuleux garantit que chaqueFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainrépond aux normes industrielles les plus strictes, notamment aux exigences des normes SEMI et ISO en matière de salles blanches.

Paramètres du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

Article	Conditions d'essai	Données	Unité
Teneur en carbure de silicium	/	>99,5	%
Taille moyenne des grains	/	4-10	micron
Densité	/	>3,14	g/cm3
Porosité apparente	/	<0,5	Vol %
Dureté Vickers	HV0.5	2800	kg/mm²
Module de rupture (3 points)	Dimensions de la barre d'essai : 3 x 4 x 40 mm	450	MPa
Force de compression	20°C	3900	MPa
Module d'élasticité	20°C	420	GPa
Résistance à la rupture	/	3.5	MPa/m^1/2
Conductivité thermique	20°C	160	W/(mK)
Résistivité électrique	20°C	10⁶-10⁸	Ωcm
Coefficient de dilatation thermique	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Température maximale d'application	Atmosphère d'oxyde	1600	°C
Température maximale d'application	atmosphère inerte	1950	°C

Applications des bras/mains de fourche en céramique de carbure de silicium

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainConçu pour les applications de haute précision, à haut risque et sensibles à la contamination, il permet une manipulation, un transfert ou un support fiables des composants critiques, sans aucun compromis.

➤ Industrie des semi-conducteurs

Utilisé comme fourche robotisée dans les stations de transfert de plaquettes en amont et dans les stations FOUP.
Intégré dans des chambres à vide pour la gravure plasma et les procédés PVD/CVD.
Sert de bras porteur dans les outils de métrologie et d'alignement de plaquettes.

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainélimine les risques de décharge électrostatique (ESD), assure la précision dimensionnelle et résiste à la corrosion par plasma.

➤ Photonique et optique

Permet de supporter les lentilles délicates, les cristaux laser et les capteurs lors de la fabrication ou de l'inspection.
Sa grande rigidité empêche les vibrations, tandis que le corps en céramique résiste à la contamination des surfaces optiques.

➤ Production d'écrans et de panneaux

Permet de manipuler des verres minces, des modules OLED et des substrats LCD lors du transport ou de l'inspection.
La surface plane et chimiquement inerteFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainprotège contre les rayures et les attaques chimiques.

➤ Instruments aérospatiaux et scientifiques

Utilisé dans l'assemblage d'optiques satellitaires, la robotique sous vide et les configurations de lignes de faisceau synchrotron.
Fonctionne parfaitement dans les salles blanches de qualité spatiale et les environnements exposés aux radiations.

Dans chaque domaine, leFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainAméliore l'efficacité du système, réduit les pannes de pièces et minimise les temps d'arrêt.

FAQ – Foire aux questions sur les poignées de fourche en céramique de carbure de silicium

Q1 : Qu'est-ce qui rend le bras/la main de fourche en céramique de carbure de silicium meilleur que les alternatives en métal ?

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainIl présente une dureté supérieure, une densité inférieure, une meilleure résistance chimique et un coefficient de dilatation thermique nettement inférieur à celui des métaux. De plus, il est compatible avec les salles blanches et ne génère ni corrosion ni particules.

Q2 : Puis-je demander des dimensions personnalisées pour mon bras/main de fourche en céramique de carbure de silicium ?

Oui. Nous proposons une personnalisation complète, incluant la largeur des fourches, l'épaisseur, les trous de fixation, les découpes et les traitements de surface. Que ce soit pour des plaquettes de 6", 8" ou 12", votrebras/main de fourchepeut être adapté à la morphologie.

Q3 : Quelle est la durée de vie du bras/de la main en céramique de carbure de silicium sous plasma ou sous vide ?

Grâce à la haute densité du matériau SiC et à son inertie, lebras/main de fourcheIl reste fonctionnel même après des milliers de cycles de traitement. Il présente une usure minimale sous des charges thermiques importantes, que ce soit sous plasma ou sous vide.

Q4 : Le produit convient-il aux salles blanches de classe ISO 1 ?

Absolument.Fourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainest fabriqué et conditionné dans des salles blanches certifiées, avec des niveaux de particules bien inférieurs aux exigences de la classe ISO 1.

Q5 : Quelle est la température de fonctionnement maximale de ce bras/main de fourche ?

LeFourche en céramique de carbure de silicium, bras/mainIl peut fonctionner en continu jusqu'à 1500 °C, ce qui le rend adapté à une utilisation directe dans les chambres de traitement à haute température et les systèmes de vide thermique.

Ces FAQ reflètent les préoccupations techniques les plus courantes des ingénieurs, des responsables de laboratoire et des intégrateurs de systèmes utilisant leFourche en céramique de carbure de silicium, bras/main.

À propos de nous

XKH est spécialisée dans le développement, la production et la vente de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins de haute technologie. Nos produits sont destinés à l'électronique optique, à l'électronique grand public et au secteur militaire. Nous proposons des composants optiques en saphir, des films de protection pour objectifs de téléphones portables, de la céramique, du LT, du carbure de silicium (SiC), du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Grâce à notre expertise et à nos équipements de pointe, nous excellons dans la transformation de produits non standard, avec pour ambition de devenir une entreprise leader dans le domaine des matériaux optoélectroniques.

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