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Bras/main de fourche en carbure de silicium et céramique SiC pour systèmes de manutention critiques

Bras/main de fourche en carbure de silicium SiC pour systèmes de manutention critiques (image en vedette)
  • Bras/main de fourche en carbure de silicium et céramique SiC pour systèmes de manutention critiques
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  • Bras/main de fourche en carbure de silicium et céramique SiC pour systèmes de manutention critiques
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Brève description :

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumest un composant de pointe développé pour l'automatisation industrielle avancée, le traitement des semi-conducteurs et les environnements ultra-propres. Son architecture bifurquée distinctive et sa surface céramique ultra-plate le rendent idéal pour la manipulation de substrats délicats, notamment les plaquettes de silicium, les panneaux de verre et les dispositifs optiques. Conçu avec précision et fabriqué en carbure de silicium ultra-pur, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumoffre une résistance mécanique, une fiabilité thermique et un contrôle de la contamination inégalés.


Caractéristiques

Diagramme détaillé

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Présentation du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumest un composant de pointe développé pour l'automatisation industrielle avancée, le traitement des semi-conducteurs et les environnements ultra-propres. Son architecture bifurquée distinctive et sa surface céramique ultra-plate le rendent idéal pour la manipulation de substrats délicats, notamment les plaquettes de silicium, les panneaux de verre et les dispositifs optiques. Conçu avec précision et fabriqué en carbure de silicium ultra-pur, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumoffre une résistance mécanique, une fiabilité thermique et un contrôle de la contamination inégalés.

Contrairement aux bras conventionnels en métal ou en plastique, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumOffre des performances stables dans des conditions thermiques, chimiques et de vide extrêmes. Que ce soit en salle blanche de classe 1 ou dans une chambre plasma à vide poussé, ce composant garantit un transport sûr, efficace et sans résidus des pièces de valeur.

Avec une structure adaptée aux bras robotisés, aux manipulateurs de plaquettes et aux outils de transfert automatisés, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumest une mise à niveau intelligente pour tout système de haute précision.

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Procédé de fabrication d'un bras/main de fourche en céramique de carbure de silicium

Élaborer une solution haute performanceBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumimplique un flux de travail d'ingénierie céramique étroitement contrôlé qui garantit la répétabilité, la fiabilité et des taux de défauts ultra-faibles.

1. Ingénierie des matériaux

Seule de la poudre de carbure de silicium de très haute pureté est utilisée dans la fabrication duBras/main de fourche en céramique et carbure de silicium, garantissant une faible contamination ionique et une résistance mécanique élevée. Les poudres sont mélangées avec précision avec des additifs de frittage et des liants pour une densification optimale.

2. Formation de la structure de base

La géométrie de base dubras/main de fourcheest formé par pressage isostatique à froid ou moulage par injection, ce qui garantit une densité élevée à l'état vert et une répartition uniforme des contraintes. La configuration en U est optimisée pour un rapport rigidité/poids et une réponse dynamique optimale.

3. Procédé de frittage

Le corps vert duBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumLe frittage a lieu dans un four à gaz inerte haute température à plus de 2 000 °C. Cette étape garantit une densité proche de la théorie, produisant un composant résistant à la fissuration, au gauchissement et aux variations dimensionnelles sous des charges thermiques réelles.

4. Rectification et usinage de précision

L'outillage diamanté CNC avancé est utilisé pour façonner les dimensions finales de laBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumDes tolérances serrées (± 0,01 mm) et une finition de surface de niveau miroir réduisent la libération de particules et les contraintes mécaniques.

5. Conditionnement et nettoyage de surface

La finition de surface finale comprend le polissage chimique et le nettoyage par ultrasons pour préparer lebras/main de fourchePour une intégration directe dans des systèmes ultra-propres. Des revêtements optionnels (CVD-SiC, couches antireflets) sont également disponibles.

Ce processus méticuleux garantit que chaqueBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumrépond aux normes industrielles les plus strictes, y compris les exigences des salles blanches SEMI et ISO.

Paramètres du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

Article Conditions de test Données Unité
Teneur en carbure de silicium / >99,5 %
Taille moyenne des grains / 4-10 micron
Densité / >3.14 g/cm3
Porosité apparente / <0,5 Vol %
Dureté Vickers HV0,5 2800 Kg/mm2
Module de rupture (3 points) Taille de la barre d'essai : 3 x 4 x 40 mm 450 MPa
Résistance à la compression 20°C 3900 MPa
Module d'élasticité 20°C 420 moyenne générale
Résistance à la fracture / 3,5 MPa/m1/2
Conductivité thermique 20°C 160 W/(mK)
Résistivité électrique 20°C 106-108 Ωcm
Coefficient de dilatation thermique 20°C-800°C 4.3 K-110-6
Température d'application maximale Atmosphère d'oxyde 1600 °C
Température d'application maximale Atmosphère inerte 1950 °C

Applications du bras/de la main de fourche en céramique de carbure de silicium

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumConçu pour les applications de haute précision, à haut risque et sensibles à la contamination, il permet une manipulation, un transfert ou un support fiable des composants critiques, sans aucun compromis.

➤ Industrie des semi-conducteurs

  • Utilisé comme fourche robotisée dans les stations de transfert de plaquettes frontales et FOUP.

  • Intégré dans des chambres à vide pour les procédés de gravure plasma et PVD/CVD.

  • Fonctionne comme bras porteur dans les outils de métrologie et d'alignement de plaquettes.

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumélimine les risques de décharge électrostatique (ESD), prend en charge la précision dimensionnelle et résiste à la corrosion par plasma.

➤ Photonique et optique

  • Prend en charge les lentilles délicates, les cristaux laser et les capteurs pendant la fabrication ou l'inspection.
    Sa grande rigidité empêche les vibrations, tandis que le corps en céramique résiste à la contamination des surfaces optiques.

➤ Production d'affichages et de panneaux

  • Manipule du verre fin, des modules OLED et des substrats LCD pendant le transport ou l'inspection.
    Le plat et chimiquement inerteBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumprotège contre les rayures ou les attaques chimiques.

➤ Instruments aérospatiaux et scientifiques

  • Utilisé dans l'assemblage d'optiques de satellites, la robotique sous vide et les configurations de lignes de faisceau synchrotron.
    Fonctionne parfaitement dans les salles blanches de qualité spatiale et les environnements sujets aux radiations.

Dans chaque domaine, leBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumaméliore l'efficacité du système, réduit les défaillances des pièces et minimise les temps d'arrêt.

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FAQ – Questions fréquemment posées sur les bras/mains de fourche en céramique et carbure de silicium

Q1 : Qu'est-ce qui rend le bras/la main de fourche en céramique en carbure de silicium meilleur que les alternatives en métal ?

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumIl présente une dureté supérieure, une densité plus faible, une meilleure résistance chimique et une dilatation thermique nettement inférieure à celle des métaux. Il est également compatible avec les salles blanches et ne génère ni corrosion ni particules.

Q2 : Puis-je demander des dimensions personnalisées pour mon bras/main de fourche en céramique en carbure de silicium ?

Oui. Nous proposons une personnalisation complète, incluant la largeur et l'épaisseur des fourches, les trous de fixation, les découpes et les traitements de surface. Que ce soit pour des plaquettes de 6", 8" ou 12", votrebras/main de fourchepeut être adapté pour s'adapter.

Q3 : Combien de temps dure le bras/la main de fourche en céramique en carbure de silicium sous plasma ou sous vide ?

Grâce au matériau SiC haute densité et à sa nature inerte, lebras/main de fourcheReste fonctionnel même après des milliers de cycles de traitement. Son usure est minimale sous des charges thermiques agressives (plasma ou vide).

Q4 : Le produit est-il adapté aux salles blanches ISO Classe 1 ?

Absolument. LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumest fabriqué et conditionné dans des installations de salle blanche certifiées, avec des niveaux de particules bien inférieurs aux exigences ISO Classe 1.

Q5 : Quelle est la température de fonctionnement maximale de ce bras/main de fourche ?

LeBras/main de fourche en céramique et carbure de siliciumpeut fonctionner en continu jusqu'à 1500°C, ce qui le rend adapté à une utilisation directe dans les chambres de traitement à haute température et les systèmes de vide thermique.

Ces FAQ reflètent les préoccupations techniques les plus courantes des ingénieurs, des responsables de laboratoire et des intégrateurs de systèmes utilisant leBras/main de fourche en céramique et carbure de silicium.

À propos de nous

XKH est spécialisé dans le développement, la production et la commercialisation de haute technologie de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins. Nos produits sont destinés aux secteurs de l'optique, de l'électronique grand public et de l'armée. Nous proposons des composants optiques en saphir, des protections d'objectifs pour téléphones portables, de la céramique, des LT, du carbure de silicium SIC, du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Forts d'une expertise pointue et d'équipements de pointe, nous excellons dans le traitement de produits non standard et aspirons à devenir une entreprise de pointe dans le domaine des matériaux optoélectroniques.

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