Plaquettes de carbure de silicium de 2 pouces 6H ou 4H de type N ou substrats SiC semi-isolants
Produits recommandés
Plaquette SiC 4H de type N
Diamètre : 2 pouces 50,8 mm | 4 pouces 100 mm | 6 pouces 150mm
Orientation : hors axe 4,0˚ vers <1120> ± 0,5˚
Résistivité : < 0,1 ohm.cm
Rugosité : Si-face CMP Ra <0,5 nm, polissage optique C-face Ra <1 nm
Plaquette SiC 4H Semi-isolante
Diamètre : 2 pouces 50,8 mm | 4 pouces 100 mm | 6 pouces 150mm
Orientation : sur l'axe {0001} ± 0,25˚
Résistivité : > 1E5 ohm.cm
Rugosité : Si-face CMP Ra <0,5 nm, polissage optique C-face Ra <1 nm
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