Procédé TVG sur plaquette de quartz saphir BF33. Perforation de plaquettes de verre.
Les avantages des TGV (Through Glass Via) se manifestent principalement par :
1) Excellentes caractéristiques électriques à haute fréquence. Le verre est un matériau isolant, sa constante diélectrique n'est que d'environ 1/3 de celle du silicium, le facteur de perte est 2 à 3 ordres de grandeur inférieur à celui du silicium, ce qui réduit considérablement les pertes du substrat et les effets parasites afin de garantir l'intégrité du signal transmis ;
(2) Il est facile de se procurer des substrats en verre de grande taille et ultra-minces. Nous pouvons fournir des panneaux de verre de très grande taille (> 2 m × 2 m) et ultra-minces (< 50 µm) provenant de fabricants tels que Sapphire, Quartz, Corning et SCHOTT, ainsi que des matériaux en verre flexible ultra-minces.
3) Faible coût. Bénéficiant d'un accès facile au verre de panneau ultra-mince de grande taille et ne nécessitant pas le dépôt de couches isolantes, le coût de production de la plaque d'adaptation en verre ne représente qu'environ 1/8 de celui de la plaque d'adaptation à base de silicium ;
4) Procédé simple. Il n'est pas nécessaire de déposer une couche isolante sur la surface du substrat et la paroi intérieure du TGV (Through Glass Via), et aucun amincissement n'est requis dans la plaque d'adaptation ultra-mince ;
(5) Forte stabilité mécanique. Même lorsque l'épaisseur de la plaque d'adaptation est inférieure à 100 µm, la déformation reste faible ;
6) Large gamme d'applications. Outre ses excellentes perspectives d'application dans le domaine des hautes fréquences, en tant que matériau transparent, il peut également être utilisé dans le domaine de l'intégration de systèmes optoélectroniques. Ses propriétés d'étanchéité et de résistance à la corrosion confèrent au substrat en verre un fort potentiel dans le domaine de l'encapsulation MEMS.
Notre entreprise propose actuellement la technologie de traversée de verre TGV (Through Glass Via), prend en charge le traitement des matières premières et livre directement le produit fini. Nous proposons du verre saphir, quartz, Corning, SCHOTT, BF33 et autres. Pour toute demande, n'hésitez pas à nous contacter !
Diagramme détaillé



