Étage à coussin d'air en SiC ultra-précis

Image mise en avant d'une platine à coussin d'air en SiC ultra-précise

Description courte :

Face à l'évolution constante de l'industrie des semi-conducteurs, les équipements de traitement et d'inspection exigent des performances toujours plus élevées. Forts d'une expertise approfondie en matière de contrôle de mouvement et de positionnement nanométrique, nous avons développé une platine de positionnement ultra-précise à coussin d'air, de type H planaire et à deux axes.

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Caractéristiques

Diagramme détaillé

Aperçu

Conçue avec une structure en céramique de carbure de silicium (SiC) optimisée par éléments finis et une technologie de palier à air compensé, la platine offre une précision, une rigidité et une réponse dynamique exceptionnelles. Elle est idéale pour :

Traitement et inspection des semi-conducteurs
micro/nanofabrication et métrologie
Découpe et polissage à l'échelle nanométrique
Numérisation de précision à haute vitesse

Caractéristiques principales

Guidage à coussin d'air en SiCpour une rigidité et une précision ultra-élevées
Dynamique élevée: vitesse jusqu'à 1 m/s, accélération jusqu'à 4 g, sédimentation rapide
Portique à double entraînement axe Yassure une capacité de charge et une stabilité élevées
Options de l'encodeur: réseau optique ou interféromètre laser
Précision du positionnement: ±0,15 μm ;répétabilité: ±75 nm
Acheminement optimisé des câblespour une conception épurée et une fiabilité à long terme
Configurations personnalisablespour les besoins spécifiques à l'application

Conception ultra-précise et architecture à entraînement direct sans contact

Cadre en céramique SiC: ~5 fois la rigidité de l'alliage d'aluminium et ~5 fois la dilatation thermique inférieure, assurant une stabilité à haute vitesse et une robustesse thermique.
Palier à air compenséSa conception exclusive améliore la rigidité, la capacité de charge et la stabilité du mouvement.
Performances dynamiques: Supporte une vitesse de 1 m/s et une accélération de 4 g, idéal pour les processus à haut débit.
Intégration transparenteCompatible avec les systèmes d'isolation des vibrations, les platines rotatives, les modules d'inclinaison et les plateformes de manipulation de plaquettes.
Gestion des câblesUn rayon de courbure contrôlé minimise les contraintes et prolonge la durée de vie.

Moteur linéaire sans noyauMouvement fluide sans force de crantage.
Entraînement multimoteurLe positionnement du moteur sur le plan de charge améliore la rectitude, la planéité et la précision angulaire.
Isolation thermiqueLes moteurs sont isolés de la structure de la scène ; refroidissement par air ou par eau en option pour les cycles de service élevés.

Caractéristiques

Modèle	400-400	500-500	600-600
Haches	X (balayage) / Y (pas)	X (balayage) / Y (pas)	X (balayage) / Y (pas)
Déplacement (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Précision (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Répétabilité (nm)	±75	±100	±100
Résolution (nm)	0,3	0,3	0,3
Vitesse maximale (m/s)	1	1	1
Accélération (g)	4	4	4
Rectitude (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilité (nm)	±5	±5	±5
Charge maximale (kg)	20	20	20
Tangage/Route/Lacet (arc-sec)	±1	±1	±1

Conditions de test :

Alimentation en air : propre, sec ; point de rosée ≤ 0 °F ; filtration des particules ≤ 0,25 μm ; ou azote à 99,99 %.
Précision mesurée à 25 mm au-dessus du centre de la platine à 20±1 °C, 40–60 % HR.

Applications

Lithographie, inspection et manipulation des plaquettes de semi-conducteurs
micro/nanofabrication et métrologie de précision
Fabrication d'optiques haut de gamme et interférométrie
Recherche aérospatiale et scientifique avancée

FAQ – Étage à coussin d'air en carbure de silicium

1. Qu'est-ce qu'un étage à coussin d'air ?

Une platine à coussin d'air utilise un mince film d'air comprimé entre la platine et le rail de guidage pour assurer…mouvement sans frottement, sans usure et ultra-fluideContrairement aux roulements mécaniques classiques, il élimine le phénomène de stick-slip, offre une précision nanométrique et garantit une fiabilité à long terme.

2. Pourquoi utiliser du carbure de silicium (SiC) pour la structure de l'étage ?

Haute rigidité: ~5 fois celle de l'alliage d'aluminium, minimisant la déformation lors des mouvements dynamiques.
faible dilatation thermique: ~5 fois inférieur à celui de l'aluminium, tout en conservant la précision malgré les variations de température.
Léger: Densité inférieure à celle de l'acier, permettant un fonctionnement à grande vitesse et à forte accélération.
Excellente stabilitéAmortissement et rigidité supérieurs pour un positionnement ultra-précis.

3. L'étage nécessite-t-il une lubrification ou un entretien ?

Aucune lubrification traditionnelle n'est nécessaire puisqu'il y aaucun contact mécaniqueL'entretien recommandé comprend :

Approvisionnementair comprimé propre et sec ou azote
Inspection périodique des filtres et des déshydrateurs
câbles de surveillance et systèmes de refroidissement

4. Quels sont les besoins en alimentation en air ?

Point de rosée : ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtration des particules : ≤ 0,25 μm
De l'air propre et sec ou de l'azote pur à 99,99 %
Pression stable avec fluctuations minimales

À propos de nous

XKH est spécialisée dans le développement, la production et la vente de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins de haute technologie. Nos produits sont destinés à l'électronique optique, à l'électronique grand public et au secteur militaire. Nous proposons des composants optiques en saphir, des films de protection pour objectifs de téléphones portables, de la céramique, du LT, du carbure de silicium (SiC), du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Grâce à notre expertise et à nos équipements de pointe, nous excellons dans la transformation de produits non standard, avec pour ambition de devenir une entreprise leader dans le domaine des matériaux optoélectroniques.