Lingot semi-isolant en carbure de silicium 4H-SiC de 6 pouces, qualité factice
Propriétés
1. Propriétés physiques et structurales
●Type de matériau : carbure de silicium (SiC)
●Polytype : 4H-SiC, structure cristalline hexagonale
●Diamètre : 6 pouces (150 mm)
●Épaisseur : configurable (5 à 15 mm typiques pour la qualité factice)
●Orientation cristalline :
oPrimaire : [0001] (plan C)
Options secondaires : Décalage de 4° pour une croissance épitaxiale optimisée
●Orientation du plan primaire : (10-10) ± 5°
●Orientation du plan secondaire : 90° dans le sens antihoraire par rapport au plan principal ± 5°
2. Propriétés électriques
●Résistivité :
oSemi-isolant (>106^66 Ω·cm), idéal pour minimiser la capacité parasite.
●Type de dopage :
oDopage involontaire, entraînant une résistivité électrique et une stabilité élevées dans diverses conditions de fonctionnement.
3. Propriétés thermiques
● Conductivité thermique : 3,5-4,9 W/cm·K, permettant une dissipation thermique efficace dans les systèmes à haute puissance.
●Coefficient de dilatation thermique : 4,2×10−64,2 \times 10^{-6}4,2×10−6/K, assurant la stabilité dimensionnelle lors du traitement à haute température.
4. Propriétés optiques
●Bande interdite : Large bande interdite de 3,26 eV, permettant un fonctionnement sous des tensions et des températures élevées.
●Transparence : Haute transparence aux longueurs d'onde UV et visibles, utile pour les tests optoélectroniques.
5. Propriétés mécaniques
●Dureté : Échelle de Mohs 9, juste derrière le diamant, assurant la durabilité lors du traitement.
●Densité de défauts :
oContrôle des défauts macroscopiques minimaux, garantissant une qualité suffisante pour les applications de niveau factice.
●Planéité : Uniformité avec des écarts
| Paramètre | Détails | Unité |
| Grade | Niveau factice | |
| Diamètre | 150,0 ± 0,5 | mm |
| Orientation de la plaquette | Sur l'axe : <0001> ± 0,5° | degré |
| Résistivité électrique | > 1E5 | Ω·cm |
| Orientation à plat primaire | {10-10} ± 5,0° | degré |
| Longueur à plat primaire | Entailler | |
| Fissures (Inspection par lumière intense) | < 3 mm en radial | mm |
| Plaques hexagonales (inspection par lumière intense) | Surface cumulée ≤ 5% | % |
| Zones polytypes (inspection par lumière intense) | Surface cumulée ≤ 10% | % |
| Densité des micropipes | < 50 | cm−2^-2−2 |
| Écaillage des bords | 3 autorisés, chacun ≤ 3 mm | mm |
| Note | L'épaisseur de découpe des plaquettes < 1 mm, > 70 % (à l'exclusion des deux extrémités) satisfait aux exigences ci-dessus |
Applications
1. Prototypage et recherche
Le lingot de 4H-SiC de 6 pouces de qualité factice est un matériau idéal pour le prototypage et la recherche, permettant aux fabricants et aux laboratoires de :
● Tester les paramètres du processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou de dépôt physique en phase vapeur (PVD).
●Développer et perfectionner les techniques de gravure, de polissage et de découpe des plaquettes.
●Explorer de nouvelles conceptions d'appareils avant de passer à des matériaux de qualité industrielle.
2. Étalonnage et test de l'appareil
Ses propriétés semi-isolantes rendent ce lingot précieux pour :
●Évaluation et étalonnage des propriétés électriques des dispositifs haute puissance et haute fréquence.
●Simulation des conditions de fonctionnement des MOSFET, IGBT ou diodes dans des environnements de test.
●Servir de substitut économique aux substrats de haute pureté lors des premières phases de développement.
3. Électronique de puissance
La conductivité thermique élevée et la large bande interdite du 4H-SiC permettent un fonctionnement efficace dans l'électronique de puissance, notamment :
●Alimentations haute tension.
●Onduleurs pour véhicules électriques (VE).
● Systèmes d'énergie renouvelable, tels que les onduleurs solaires et les éoliennes.
4. Applications radiofréquences (RF)
Les faibles pertes diélectriques et la mobilité électronique élevée du 4H-SiC le rendent adapté à :
●Amplificateurs RF et transistors dans l'infrastructure de communication.
● Systèmes radar haute fréquence pour applications aérospatiales et de défense.
● Composants de réseau sans fil pour les technologies 5G émergentes.
5. Dispositifs résistants aux radiations
Grâce à sa résistance intrinsèque aux défauts induits par les radiations, le 4H-SiC semi-isolant est idéal pour :
● Équipements d'exploration spatiale, y compris l'électronique des satellites et les systèmes d'alimentation.
●Électronique durcie aux radiations pour la surveillance et le contrôle nucléaires.
● Applications de défense nécessitant une robustesse dans des environnements extrêmes.
6. Optoélectronique
La transparence optique et la large bande interdite du 4H-SiC permettent son utilisation dans :
●Photodétecteurs UV et LED haute puissance.
●Tests des revêtements optiques et des traitements de surface.
●Prototypage de composants optiques pour capteurs avancés.
Avantages des matériaux factices
Rentabilité :
La qualité factice est une alternative plus abordable aux matériaux de qualité recherche ou production, ce qui la rend idéale pour les tests de routine et l'amélioration des processus.
Personnalisation :
Les dimensions et orientations cristallines configurables assurent la compatibilité avec une large gamme d'applications.
Évolutivité :
Le diamètre de 6 pouces est conforme aux normes industrielles, permettant une mise à l'échelle sans problème vers des processus de production industrielle.
Robustesse :
Sa résistance mécanique élevée et sa stabilité thermique rendent le lingot durable et fiable dans diverses conditions expérimentales.
Versatilité:
Adapté à de nombreux secteurs d'activité, des systèmes énergétiques aux communications et à l'optoélectronique.
Conclusion
Le lingot semi-isolant en carbure de silicium (4H-SiC) de 15 cm (6 pouces), de qualité fictive, offre une plateforme fiable et polyvalente pour la recherche, le prototypage et les essais dans les secteurs technologiques de pointe. Ses propriétés thermiques, électriques et mécaniques exceptionnelles, combinées à son prix abordable et à sa personnalisation, en font un matériau indispensable pour le monde académique et industriel. De l'électronique de puissance aux systèmes RF et aux dispositifs durcis aux radiations, ce lingot favorise l'innovation à chaque étape du développement.
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Diagramme détaillé









