Plaquette de substrat HPSI SiC de 6 pouces, plaquettes SiC semi-insultantes en carbure de silicium

Brève description:

Plaquette SiC monocristalline de haute qualité (carbure de silicium de SICC) destinée à l'industrie électronique et optoélectronique.La plaquette SiC de 3 pouces est un matériau semi-conducteur de nouvelle génération, des plaquettes semi-isolantes en carbure de silicium de 3 pouces de diamètre.Les plaquettes sont destinées à la fabrication de dispositifs de puissance, RF et optoélectroniques.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Technologie de croissance SiC en cristal de carbure de silicium PVT

Les méthodes de croissance actuelles du monocristal de SiC comprennent principalement les trois suivantes : la méthode en phase liquide, la méthode de dépôt chimique en phase vapeur à haute température et la méthode de transport physique en phase vapeur (PVT).Parmi elles, la méthode PVT est la technologie la plus recherchée et la plus mature pour la croissance de monocristaux de SiC, et ses difficultés techniques sont :

(1) Monocristal de SiC à haute température de 2 300 °C au-dessus de la chambre de graphite fermée pour compléter le processus de recristallisation de conversion « solide - gaz - solide », le cycle de croissance est long, difficile à contrôler et sujet aux microtubules, inclusions et d'autres défauts.

(2) Monocristal de carbure de silicium, comprenant plus de 200 types de cristaux différents, mais la production d'un seul type de cristal en général, facile à produire une transformation du type de cristal dans le processus de croissance entraînant des défauts d'inclusions multi-types, le processus de préparation d'un seul Il est difficile de contrôler la stabilité du processus avec un type de cristal spécifique, par exemple le courant dominant actuel du type 4H.

(3) Champ thermique de croissance monocristalline de carbure de silicium, il existe un gradient de température, ce qui entraîne dans le processus de croissance cristalline une contrainte interne native et les dislocations, défauts et autres défauts qui en résultent.

(4) Le processus de croissance d'un monocristal de carbure de silicium doit contrôler strictement l'introduction d'impuretés externes, afin d'obtenir un cristal semi-isolant de très haute pureté ou un cristal conducteur dopé directionnellement.Pour les substrats semi-isolants en carbure de silicium utilisés dans les dispositifs RF, les propriétés électriques doivent être obtenues en contrôlant la très faible concentration d'impuretés et les types spécifiques de défauts ponctuels dans le cristal.