Machine de polissage par faisceau d'ions pour saphir SiC Si

Brève description :

La machine de façonnage et de polissage par faisceau d'ions est basée sur le principe depulvérisation ioniqueÀ l'intérieur d'une chambre à vide poussé, une source d'ions génère un plasma, accéléré en un faisceau d'ions à haute énergie. Ce faisceau bombarde la surface du composant optique, éliminant de la matière à l'échelle atomique pour obtenir une correction et une finition de surface ultra-précises.

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Caractéristiques

Diagramme détaillé

Machine de polissage à faisceau ionique1

Machine de polissage à faisceau ionique2

Présentation du produit de la machine de polissage par faisceau d'ions

La machine de façonnage et de polissage par faisceau d'ions repose sur le principe de la pulvérisation ionique. Dans une chambre à vide poussé, une source d'ions génère un plasma, accéléré en un faisceau d'ions à haute énergie. Ce faisceau bombarde la surface du composant optique, enlevant de la matière à l'échelle atomique pour une correction et une finition de surface ultra-précises.

En tant que processus sans contact, le polissage par faisceau d'ions élimine les contraintes mécaniques et évite les dommages sous la surface, ce qui le rend idéal pour la fabrication d'optiques de haute précision utilisées dans l'astronomie, l'aérospatiale, les semi-conducteurs et les applications de recherche avancées.

Machine de polissage à faisceau ionique4

Principe de fonctionnement de la machine de polissage à faisceau ionique

Génération d'ions
Un gaz inerte (par exemple, l'argon) est introduit dans la chambre à vide et ionisé par une décharge électrique pour former du plasma.

Accélération et formation de faisceaux
Les ions sont accélérés à plusieurs centaines ou milliers d'électrons-volts (eV) et transformés en un faisceau focalisé stable.

Enlèvement de matière
Le faisceau d’ions projette physiquement les atomes de la surface sans déclencher de réactions chimiques.

Détection d'erreurs et planification de chemin
Les écarts de surface sont mesurés par interférométrie. Des fonctions d'enlèvement de matière sont appliquées pour déterminer les temps de séjour et générer des trajectoires d'outil optimisées.

Correction en boucle fermée
Les cycles itératifs de traitement et de mesure se poursuivent jusqu'à ce que les objectifs de précision RMS/PV soient atteints.

Principales caractéristiques de la machine de polissage par faisceau d'ions

Compatibilité universelle des surfaces– Traite les surfaces planes, sphériques, asphériques et de forme libre

Taux d'élimination ultra-stable– Permet la correction des chiffres sub-nanométriques

Traitement sans dommage– Aucun défaut de sous-surface ni changement structurel

Performances constantes– Fonctionne aussi bien sur des matériaux de dureté variable

Correction de fréquence basse/moyenne– Élimine les erreurs sans générer d’artefacts de moyenne/haute fréquence

Faible besoin d'entretien– Fonctionnement continu de longue durée avec des temps d’arrêt minimes

Principales spécifications techniques de la machine de polissage à faisceau ionique

Article	Spécification
Méthode de traitement	Pulvérisation ionique dans un environnement à vide poussé
Type de traitement	Façonnage et polissage de surface sans contact
Taille maximale de la pièce	Φ4000 mm
Axes de mouvement	3 axes / 5 axes
Stabilité de retrait	≥ 95 %
Précision de surface	PV < 10 nm ; RMS ≤ 0,5 nm (RMS typique < 1 nm ; PV < 15 nm)
Capacité de correction de fréquence	Supprime les erreurs de fréquence basse à moyenne sans introduire d'erreurs de fréquence moyenne/haute
Fonctionnement continu	3 à 5 semaines sans entretien du vide
Coût d'entretien	Faible

Capacités de traitement de la machine de polissage par faisceau d'ions

Types de surfaces pris en charge

Simple : Plat, sphérique, prismatique

Complexe : asphère symétrique/asymétrique, asphère hors axe, cylindrique

Spécial : optiques ultra-minces, optiques à lamelles, optiques hémisphériques, optiques conformes, plaques de phase, surfaces de forme libre

Matériel pris en charge

Verre optique : Quartz, microcristallin, K9, etc.

Matériaux infrarouges : Silicium, germanium, etc.

Métaux : Aluminium, acier inoxydable, alliage de titane, etc.

Cristaux : YAG, carbure de silicium monocristallin, etc.

Matériaux durs/cassants : carbure de silicium, etc.

Qualité de surface / Précision

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Machine de polissage à faisceau ionique6

Machine de polissage à faisceau ionique5

Études de cas de traitement de la machine de polissage par faisceau d'ions

Cas 1 – Miroir plat standard

Pièce : Quartz plat D630 mm

Résultat : PV 46,4 nm ; RMS 4,63 nm

Cas 2 – Miroir réfléchissant les rayons X

Pièce : 150 × 30 mm en silicone plat

Résultat : PV 8,3 nm ; RMS 0,379 nm ; Pente 0,13 µrad

Cas 3 – Miroir hors axe

Pièce : Miroir rectifié hors axe D326 mm

Résultat : PV 35,9 nm ; RMS 3,9 nm

FAQ sur les verres à quartz

FAQ – Machine de polissage à faisceau ionique

Q1 : Qu'est-ce que le polissage par faisceau d'ions ?
A1 :Le polissage par faisceau d'ions est un procédé sans contact qui utilise un faisceau focalisé d'ions (tels que des ions d'argon) pour éliminer la matière de la surface d'une pièce. Les ions sont accélérés et dirigés vers la surface, ce qui entraîne un enlèvement de matière à l'échelle atomique et produit des finitions ultra-lisses. Ce procédé élimine les contraintes mécaniques et les dommages sous la surface, ce qui le rend idéal pour les composants optiques de précision.

Q2 : Quels types de surfaces la machine de polissage à faisceau ionique peut-elle traiter ?
A2:LeMachine de polissage à faisceau ioniquepeut traiter une variété de surfaces, y compris des composants optiques simples commeplats, sphères et prismes, ainsi que des géométries complexes commeasphères, asphères hors axe, etsurfaces de forme libreIl est particulièrement efficace sur des matériaux tels que le verre optique, l’optique infrarouge, les métaux et les matériaux durs/cassants.

Q3 : Avec quels matériaux la machine de polissage à faisceau ionique peut-elle fonctionner ?
A3:LeMachine de polissage à faisceau ioniquepeut polir une large gamme de matériaux, notamment :

verre optique:Quartz, microcristallin, K9, etc.
Matériaux infrarouges:Silicium, germanium, etc.
Métaux:Aluminium, acier inoxydable, alliage de titane, etc.
Matériaux cristallins: YAG, carbure de silicium monocristallin, etc.
Autres matériaux durs/cassants:Carbure de silicium, etc.

À propos de nous

XKH est spécialisé dans le développement, la production et la commercialisation de haute technologie de verres optiques spéciaux et de nouveaux matériaux cristallins. Nos produits sont destinés aux secteurs de l'optique, de l'électronique grand public et de l'armée. Nous proposons des composants optiques en saphir, des protections d'objectifs pour téléphones portables, de la céramique, des LT, du carbure de silicium SIC, du quartz et des plaquettes de cristal semi-conducteur. Forts d'une expertise pointue et d'équipements de pointe, nous excellons dans le traitement de produits non standard et aspirons à devenir une entreprise de pointe dans le domaine des matériaux optoélectroniques.