Substrat SiC 3 pouces, épaisseur 350um, type HPSI, qualité factice de qualité supérieure
Propriétés
Paramètre | Qualité de production | Niveau de recherche | Qualité factice | Unité |
Grade | Qualité de production | Niveau de recherche | Qualité factice | |
Diamètre | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Épaisseur | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Orientation de la plaquette | Dans l'axe : <0001> ± 0,5° | Sur l'axe : <0001> ± 2,0° | Sur l'axe : <0001> ± 2,0° | degré |
Densité des microtuyaux (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Résistivité électrique | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopant | Non dopé | Non dopé | Non dopé | |
Orientation plate principale | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | degré |
Longueur à plat primaire | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Longueur plate secondaire | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Orientation plate secondaire | 90° CW depuis le plat primaire ± 5,0° | 90° CW depuis le plat primaire ± 5,0° | 90° CW depuis le plat primaire ± 5,0° | degré |
Exclusion de bord | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Arc/Warp | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Rugosité de la surface | Face Si : CMP, Face C : Polie | Face Si : CMP, Face C : Polie | Face Si : CMP, Face C : Polie | |
Fissures (lumière de haute intensité) | Aucun | Aucun | Aucun | |
Plaques hexagonales (lumière haute intensité) | Aucun | Aucun | Superficie cumulée 10% | % |
Zones de polytype (lumière de haute intensité) | Superficie cumulée 5% | Superficie cumulée 20% | Superficie cumulée 30% | % |
Rayures (lumière de haute intensité) | ≤ 5 rayures, longueur cumulée ≤ 150 | ≤ 10 rayures, longueur cumulée ≤ 200 | ≤ 10 rayures, longueur cumulée ≤ 200 | mm |
Écaillage des bords | Aucun ≥ 0,5 mm largeur/profondeur | 2 autorisé ≤ 1 mm largeur/profondeur | 5 autorisé ≤ 5 mm largeur/profondeur | mm |
Contamination des surfaces | Aucun | Aucun | Aucun |
Applications
1. Electronique haute puissance
La conductivité thermique supérieure et la large bande interdite des plaquettes SiC les rendent idéales pour les dispositifs haute puissance et haute fréquence :
●MOSFET et IGBT pour la conversion de puissance.
●Systèmes d'alimentation avancés pour véhicules électriques, y compris des onduleurs et des chargeurs.
●Infrastructure de réseau intelligent et systèmes d'énergie renouvelable.
2. Systèmes RF et micro-ondes
Les substrats SiC permettent des applications RF et micro-ondes haute fréquence avec une perte de signal minimale :
●Télécommunications et systèmes satellitaires.
●Systèmes radar aérospatiaux.
●Composants de réseau 5G avancés.
3. Optoélectronique et capteurs
Les propriétés uniques du SiC prennent en charge une variété d'applications optoélectroniques :
●Détecteurs UV pour la surveillance environnementale et la détection industrielle.
●Substrats LED et laser pour éclairage à semi-conducteurs et instruments de précision.
●Capteurs haute température pour les industries aérospatiale et automobile.
4. Recherche et développement
La diversité des niveaux (Production, Recherche, Dummy) permet une expérimentation de pointe et un prototypage d'appareils dans le monde universitaire et industriel.
Avantages
●Fiabilité :Excellente résistivité et stabilité dans toutes les qualités.
●Personnalisation :Orientations et épaisseurs sur mesure pour répondre à différents besoins.
●Haute pureté :La composition non dopée garantit des variations minimales liées aux impuretés.
●Évolutivité :Répond aux exigences de la production de masse et de la recherche expérimentale.
Les plaquettes SiC haute pureté de 3 pouces sont votre passerelle vers des dispositifs hautes performances et des avancées technologiques innovantes. Pour toute demande de renseignements et spécifications détaillées, contactez-nous dès aujourd’hui.
Résumé
Les plaquettes de carbure de silicium (SiC) de haute pureté de 3 pouces, disponibles en qualités production, recherche et factice, sont des substrats haut de gamme conçus pour l'électronique haute puissance, les systèmes RF/micro-ondes, l'optoélectronique et la R&D avancée. Ces plaquettes présentent des propriétés semi-isolantes non dopées avec une excellente résistivité (≥1E10 Ω·cm pour Production Grade), une faible densité de microtubes (≤1 cm−2^-2−2) et une qualité de surface exceptionnelle. Ils sont optimisés pour les applications hautes performances, notamment la conversion de puissance, les télécommunications, la détection UV et les technologies LED. Avec des orientations personnalisables, une conductivité thermique supérieure et des propriétés mécaniques robustes, ces plaquettes SiC permettent une fabrication de dispositifs efficace et fiable et des innovations révolutionnaires dans tous les secteurs.